高温超伝導バルクを用いた非接触スピン処理装置の研究開発(4)-浮上力・浮上高向上のための磁気回路の検討-

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J-GLOBAL ID：200902265803159810 整理番号：07A1194349

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資料名：
巻： 77th ページ： 179 発行年： 2007年11月20日
JST資料番号： G0564B ISSN： 0919-5998 資料種別：会議録 (C)
記事区分：短報発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

半導体素子の量産製造のためのマスター原版である半導体フォトマ...

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固体デバイス製造技術一般

引用文献 (1件)：

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