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J-GLOBAL ID:200902283173622094   整理番号:07A1006453

超音波計測によるCZシリコン中の原子空孔濃度分布の研究

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資料名:
巻: 62  号: 2 第4分冊  ページ: 994  発行年: 2007年08月21日 
JST資料番号: S0671B  ISSN: 1342-8349  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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半導体の格子欠陥 
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