特許
J-GLOBAL ID：200903054693799609
温度計測装置、信号処理装置および信号処理プログラム
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (3件)：
森 哲也
, 内藤 嘉昭
, 崔 秀▲てつ▼
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-293757
公開番号（公開出願番号）：特開2004-125741
出願日： 2002年10月07日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
要約：
【課題】ヘテロダイン干渉法を用いた温度計測を効率化する。【解決手段】位相計204は、参照信号と試験信号とのビート周波数差から、温度計測領域を通過したレーザ光の位相変化を算出し、データ演算部205は、位相計204で算出された位相情報に基づいて温度計測領域の温度を算出する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
ビート信号を生成するための参照光と試験光とを発生させるヘテロダイン干渉用光学系と、
前記試験光に位相変化を検出させる温度計測領域が設けられた温度センサと、
前記ヘテロダイン干渉用光学系で生成された参照光と前記温度計測領域を通過した試験光とのビート周波数差に基づいて、前記温度計測領域の温度を算出する信号処理手段とを備えることを特徴とする温度計測装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (18件)：
2G059AA02
, 2G059AA03
, 2G059BB01
, 2G059EE09
, 2G059GG01
, 2G059JJ11
, 2G059JJ13
, 2G059JJ17
, 2G059JJ18
, 2G059JJ19
, 2G059JJ20
, 2G059JJ22
, 2G059JJ23
, 2G059KK02
, 2G059KK03
, 2G059LL01
, 2G059MM01
, 2G059PP05
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (1件)
引用文献：
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