特許
J-GLOBAL ID：200903075221478385
物質吸着検知方法およびセンサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
牛木 護
, 清水 栄松
, 外山 邦昭
, 吉田 正義
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2005013863
公開番号（公開出願番号）：WO2006-038367
出願日： 2005年07月28日
公開日（公表日）： 2006年04月13日
要約：
本発明は、被検知物質の吸着量に対する感応性薄膜の光学特性の変化量を利用した物質吸着検知方法及びセンサを提供する。水晶振動子10上に、クラッド4,コア5,吸着物質検知用薄膜7を順次積層し、光導波層12ひいてはガス吸着部11を構成する。また、コア5表面に光入射用プリズム8と光出射用プリズム9とを設ける。光導波層11のコア5表面に被検知物質が吸着することに伴い、伝搬損失が変化することによる出射光の変化と、水晶振動子10の発振特性が共に変化することを利用して、被検出物質の吸着質量の変化量とそれに伴う光学特性の変化量とを同時に正確に検出できる。
請求項（抜粋）：
水晶振動子上に、低屈折率媒体からなるクラッドと高屈折率媒体からなるコアを積層した光導波層を設け、前記水晶振動子の発振特性と、前記光導波層を光導波路として導波した光を測定することを特徴とする物質吸着検知方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (15件)：
2G059AA01
, 2G059BB01
, 2G059BB04
, 2G059CC05
, 2G059CC12
, 2G059CC16
, 2G059DD13
, 2G059EE01
, 2G059EE02
, 2G059EE04
, 2G059EE12
, 2G059EE20
, 2G059JJ12
, 2G059JJ17
, 2G059PP10
