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J-GLOBAL ID：201002210403749815   整理番号：10A0713026

白金薄膜の水素応答特性

Hydrogen Response Characteristic of Platinum Thin Film

著者 (4件)： 水原宏平 (岡山大) ,  片山文哉 (岡山大) ,  紀和利彦 (岡山大) ,  塚田啓二 (岡山大)
資料名： 電気学会ケミカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： CHS-10  号： 1-6.8-14  ページ： 17-21  発行年： 2010年06月17日 
JST資料番号： L2895B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 耐久性のある抵抗変化式水素センサの開発のため,劣化の生じやすいパラジウムに代わり白金を用いたセンサを作成し,水素濃度に対するインピーダンス変化を評価した。センサはガラス基板上に白金をスパッタリングし,白金の厚さが10,20,40nmとし,ダイシングマシーンで10mm×1mmの短冊状にカットした。実験は,低・高濃度水素応答特性評価装置を使用した。低濃度水素:10ppm~1%,高濃度水素:20~100%を用意し,順次,濃度を切替えながら交流インピーダンス応答を測定した。結果は,濃度が高くなるにつれてインピーダンスが小さくなった。また,白金膜厚が小さくなるほど抵抗変化率が大きくなり,白金膜を薄くすれば高感度センサの作成が可能なことが分った

シソーラス用語： *白金 ,  金属薄膜 ,  *ガスセンサ ,  *水素 ,  *応答特性 ,  インピーダンス ,  膜厚 ,  表面構造 ,  *電気抵抗 ,  白金触媒 ,  *燃料電池自動車
準シソーラス用語： 水素センサ

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

引用文献 (2件)：

• K. Tsukada, T. Kiwa, T. Yamaguchi, S. Migitaka, Y. Goto, K. Yokosawa: “A study of response characteristics for hydrogen sensing with platinum FET sensor” Sens.Actuators B, Vol.114, pp. 158-163(2006)
• T.Yamaguchi, T.Kiwa, K.Tsukada, K.Yokosawa:“Oxygen interference mechanism of platinum-FET hydrogen gas sensor” Sens.Actuators A, Vol.136, pp. 244-248(2007)

タイトルに関連する用語 (3件)： 白金薄膜 ,  水素 ,  応答特性