半導体受光装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：松元洋 , 光石俊郎 , 田中康幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-000098
公開番号（公開出願番号）：特開平11-195809
特許番号：特許第3549086号
出願日： 1998年01月05日
公開日（公表日）： 1999年07月21日
請求項（抜粋）：

【請求項1】光受光層を含む半導体多層構造よりなる受光部分と端面に表面側から離れるに従い内側に傾斜した光入射端面を、前記光受光層がある表面側から逆メサ形状のエッチングにより形成することにより、該光入射端面の受光層より基板側の部分への入射光を屈折させて、前記光受光層を入射光が層厚方向に対し斜めに通過するようにした屈折型半導体受光素子とこれに対向して設置された光導波路よりなる半導体受光装置において、屈折型半導体受光素子と光導波路の間が屈折率が1よりも大きい固体又は液体で埋められていることにより、受光感度の調整が可能となることを特徴とする半導体受光装置。

IPC (2件)：