温度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松尾憲一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-500553
特許番号：特許第4257438号
出願日： 2007年02月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】レーザ光を照射する光源部と、この光源部から照射されたレーザ光を試験光と参照光に分離する分離部と、前記試験光の光路を温度が計測される被計測空間を横断させて配置する受感部と、前記被計測空間を横断した試験光と前記参照光とを干渉させて干渉状態の変動を検出することにより温度の変化を検出する検出部とを備えた温度センサにおいて、前記受感部は前記試験光の光路と平行とした筒状のケーシングの先端に設け、このケーシングの基端に前記分離部を設け、前記ケーシングは、前記試験光を通過させる透明部材と、前記参照光を反射する反射体とを装着した先端壁を先端部分に備え、前記透明部材を通過した前記試験光を前記受感部に到達させて、この受感部に設けた反射体によって反射さていることを特徴とする温度センサ。

IPC (3件)：