温度計測装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：森哲也 , 内藤嘉昭 , 崔秀▲てつ▼
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-293757
公開番号（公開出願番号）：特開2004-125741
特許番号：特許第4214191号
出願日： 2002年10月07日
公開日（公表日）： 2004年04月22日
請求項（抜粋）：

【請求項1】ビート信号を生成するための参照光と試験光とを発生させるヘテロダイン干渉用光学系と、前記試験光に位相変化を検出させる温度計測領域が設けられた温度センサと、前記ヘテロダイン干渉用光学系で生成された参照光と前記温度計測領域を通過した試験光とのビート周波数差を検出する位相計と、前記位相計によって検出されたビート周波数差に基づいて、前記温度計測領域の温度を算出する信号処理手段とを備え、前記ビート周波数差の検出から前記温度計測領域の温度の算出までの処理を一貫して行うことを特徴とする温度計測装置。

IPC (2件)：