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J-GLOBAL ID：201202262920815636   整理番号：12A0970482

テラヘルツ波ケミカル顕微鏡による化学反応分布検出システムの開発

Mapping system of Chemical Reactions using Terahertz Chemical Microscope

著者 (4件)： 紀和利彦 (岡山大) ,  高橋慎司 (岡山大) ,  堺健司 (岡山大) ,  塚田啓二 (岡山大)
資料名： 電気学会ケミカルセンサ研究会資料  (電気学会研究会資料)
巻： CHS-12  号： 1-16  ページ： 37-41  発行年： 2012年06月11日 
JST資料番号： L2895B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： テラヘルツ電磁波を用いるLTEMを拡張して水溶液中の化学反応分布計測を可能にしたTHz波ケミカル顕微鏡(TCM)の検出原理を解説し化学反応分布計測実験の結果を示した。TCMで化学反応を可視化するために必要なシリコン熱酸化膜等からなるセンシングプレートの構成および動作原理とTCMの光学系を示し,THzパルスの振幅強度を計測する過程を示した。センシングプレートのSiO₂膜表面に接触させたバッファ液のpHを変化させながらTHzパルス強度を計測する実験を行い結果を示した。又,水素イオンの乖離平衡反応分布を計測する実験を行い,水溶液中の水素イオンとセンシングプレート上に形成されたシラノール基の熱平衡反応の可視化を示した。

シソーラス用語： *サブミリ波 ,  *パルスレーザ ,  *化学反応 ,  *可視化 ,  *走査型プローブ顕微鏡 ,  レーザ照射 ,  熱平衡 ,  空間分解能 ,  *センサ ,  *反応機構 ,  テラヘルツ波 ,  フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： 電気化学顕微鏡 ,  テラヘルツ波ケミカル顕微鏡 ,  分布センサ

分類 (1件)： 分析機器  (CC02020S)

引用文献 (8件)：

• (1) M. Tonouchi "Cutting-edge terahertz technology", Nat. Photon., 1, 79 (2007).
• (2) T. Kiwa, M. Tonouchi, M. Yamashita, and K. Kawase, "Laser terahertz-emission microscope for inspecting electrical faults in integrated circuits," Opt Lett 28, pp. 2058-2060 (2003)
• (3) H. Murakami, N. Uchida, R. Inoue, S. Kim, T. Kiwa, and M. Tonouchi, "Laser terahertz emission microscope," Proceedings of the Ieee 95, pp. 1646-1657, (2007).
• (4) M. Yamashita, K. Kawase, C. Otani, T. Kiwa, and M. Tonouchi, "Imaging of large-scale integrated circuits using laser terahertz emission microscopy," Opt Express 13, pp. 115-120 (2005).
• (5) T. Kiwa, J. Kondo, S. Oka, I. Kawayama, H. Yamada, M. Tonouchi, and K. Tsukada, "Chemical sensing plate with a laser-terahertz monitoring system," Appl Optics 47, 3324-3327 (2008).

タイトルに関連する用語 (7件)： テラヘルツ波 ,  ケミカル ,  顕微鏡 ,  化学反応 ,  分布 ,  検出システム ,  開発