高品質のGa2O3系半導体素子であるGa2O3系HEMTを提供する。 i型β-Ga2O3単結晶膜3と、i型β-Ga2O3単結晶膜3上に形成された、IV族元素を含むβ-(AlxGa1-x)2O3(0
請求項(抜粋):
i型β-Ga2O3単結晶膜と、
前記i型β-Ga2O3単結晶膜上に形成された、IV族元素を含むβ-(AlxGa1-x)2O3(0
IPC (7件):
H01L 21/338
, H01L 29/778
, H01L 29/812
, H01L 21/365
, H01L 21/363
, C23C 14/08
, H01L 29/24
FI (5件):
H01L29/80 H
, H01L21/365
, H01L21/363
, C23C14/08 K
, H01L29/24
Fターム (40件):
4K029AA04
, 4K029BA43
, 4K029BA44
, 4K029BA50
, 4K029BB02
, 4K029BB09
, 4K029BD01
, 4K029CA02
, 4K029DB03
, 4K029DB10
, 4K029DB18
, 5F045AB40
, 5F045CA07
, 5F045DA52
, 5F045HA15
, 5F102GB01
, 5F102GC01
, 5F102GD01
, 5F102GJ01
, 5F102GL01
, 5F102GL20
, 5F102GM01
, 5F102GQ01
, 5F102GR01
, 5F102GS01
, 5F102GT02
, 5F102GT03
, 5F102HC01
, 5F103AA04
, 5F103AA08
, 5F103AA10
, 5F103BB05
, 5F103BB08
, 5F103DD30
, 5F103GG01
, 5F103HH03
, 5F103JJ03
, 5F103KK10
, 5F103LL09
, 5F103PP04
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