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J-GLOBAL ID：201602281589186718   整理番号：16A1004114

並列インダクタ接続型プラズマ発生用共振型インバータの実証評価

著者 (7件)： 板倉康仁 (岡山大) ,  掛水浩晃 (岡山大) ,  中井戸博樹 (岡山大) ,  梅谷和弘 (岡山大) ,  平木英治 (岡山大) ,  池成達也 (ダイヘン) ,  河野真吾 (ダイヘン)
資料名： 電気学会産業応用部門大会(CD-ROM)  (Proceedings of the IEE Japan Industry Applications Society Conference (CD-ROM))
巻： 2016  ページ： ROMBUNNO.1-77  発行年： 2016年 
JST資料番号： L2177B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *インバータ ,  ソフトスイッチング ,  直列共振 ,  負荷容量 ,  検証 ,  インダクタ ,  *プラズマ装置 ,  雑音 ,  雑音低減
準シソーラス用語： *RFプラズマ ,  スイッチングノイズ ,  ノイズ減少 ,  *共振インバータ ,  結合インダクタ ,  高周波インバータ ,  実証検証

分類 (2件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  電力変換器  (NB08030B)

タイトルに関連する用語 (6件)： インダクタ ,  プラズマ発生 ,  共振 ,  インバータ ,  実証 ,  評価