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J-GLOBAL ID：201702212375751628   整理番号：17A0568350

量子ビームを用いたガラス・非晶質材料のナノスケール構造解析 放射光を利用した非晶質酸化ニオブ薄膜の構造解析

著者 (4件)： 桟敷剛 (Kagawa NCT) ,  岡野寛 (Kagawa NCT) ,  紅野安彦 (Okayama Univ.) ,  難波徳郎 (Okayama Univ.)
資料名： セラミックス  (Bulletin of the Ceramic Society of Japan)
巻： 52  号： 5  ページ： 362-364  発行年： 2017年05月01日 
JST資料番号： S0291A  ISSN： 0009-031X  CODEN： SERAA7  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 酸化ニオブは,多様な結晶系に変化することが知られているが,スパッタリング法で蒸着される酸化ニオブの多くは非晶質である。多様な結晶多形を有する酸化ニオブ系の非晶質構造解析は,局所構造の多様性を解明することにも結びつくと考えられる。本稿では,RFマグネトロンスパッタリング法で作製した酸化ニオブ薄膜を対象とし,SPring-8放射光施設の複数のビームラインを活用した非晶質薄膜の構造解析実験の実例(組成分析,密度測定,X線吸収分光測定,高エネルギーX線回折測定)を紹介した。加えて,得られた構造情報を拘束条件として適用した逆モンテカルロ(RMC)法による構造モデル構築に向けた試みと,局所構造の理解に向けた今後の展望について述べた。

シソーラス用語： *酸化ニオブ ,  非晶質 ,  *構造解析 ,  放射光施設 ,  シンクロトロン放射 ,  マグネトロンスパッタリング ,  スパッタ蒸着 ,  *蒸着膜 ,  局所性 ,  多形 ,  化学組成 ,  密度 ,  X線吸収分光法 ,  高エネルギー領域 ,  X線回折 ,  モンテカルロ法 ,  シミュレーション ,  モデル ,  数値解析
準シソーラス用語： 逆モンテカルロ法 ,  構造モデル

分類 (1件)： その他の非晶質の構造  (BK04040Z)

引用文献 (7件)：

• G. Sajiki, Y. Benino, T. Nanba and H. Okano, Mater. Sci. Appl., 6, 292-309 (2015).
• C. Oki, G. Sajiki, S. Sakida, Y. Benino and T. Nanba, J. Ceram. Soc. Japan, 124, 1221-1225 (2016).
• 桜井健次,′′X線反射率法入門′′,講談社サイエンティフィク (2009).
• A. Nelson, I. Atol. Crystallogr., 39, 237-276 (2006) .
• 太田俊明編,′′X線吸収分光法-XAFSとその応用′′,アイピーシー (2002).

タイトルに関連する用語 (9件)： 量子ビーム ,  ガラス ,  非晶質材料 ,  ナノスケール ,  構造解析 ,  放射光 ,  非晶質 ,  酸化ニオブ ,  薄膜