シリコンウェーハ中の原子空孔濃度の絶対値の決定方法

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：牛木護 , 高橋知之
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-232353
公開番号（公開出願番号）：特開2014-168043
特許番号：特許第6244833号
出願日： 2013年11月08日
公開日（公表日）： 2014年09月11日
請求項（抜粋）：

【請求項1】シリコン試料の弾性定数の低温ソフト化量ΔC44/C44を測定する測定工程と、この測定工程で測定された前記低温ソフト化量ΔC44/C44に基いてシリコンウェーハ中の原子空孔濃度Nの絶対値を決定する決定工程とを備えたことを特徴とするシリコンウェーハ中の原子空孔濃度の絶対値の決定方法。

IPC (3件)：