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J-GLOBAL ID:201902290797000731   整理番号:19A1402290

機械学習モデルと実験結果の比較による物性値推定手法のSiC溶液成長における融液物性への適用

著者 (17件):
資料名:
巻: 164th  ページ: ROMBUNNO.S2.12  発行年: 2019年03月06日 
JST資料番号: S0988B  ISSN: 2433-3093  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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【緒言】熱流体シミュレーションは、結晶成長において強力なツールである。しかし、その結果は実際の実験と必ずしも一致しない。その要因の一つは、物性値の不確かさにある。我々が取り組んでいるSiC溶液成長においては、特に正しい高温融液物性を得ること...【本文一部表示】
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分類 (2件):
分類
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セラミック・陶磁器の製造  ,  半導体の結晶成長 

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