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J-GLOBAL ID：202002269185410398   整理番号：20A2237609

アシストレーザー光照射PLD法により作製したBiFeO₃薄膜の結晶性と圧電特性

Crystallinity and Piezoelectric Properties of BiFeO₃ Thin Films Prepared by an in-situ Laser Irradiation PLD Method

著者 (3件)： 泉宏和 (兵庫工技セ) ,  吉村武 (大阪府大 大学院) ,  藤村紀文 (大阪府大 大学院)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 67th  ページ： ROMBUNNO.13a-PA2-8  発行年： 2020年02月28日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

本文一部表示： 【はじめに】 BiFeO3は鉛を含まない系でありながら大きな自発分極を有することから、圧電型振動発電素子への応用が期待されている[1]。優れた誘電・圧電性の実現には、良好な結晶性を有する薄膜の形成が必要であるが、特にPVDプロセスの場合は基...【本文一部表示】

シソーラス用語： X線回折 ,  結晶化 ,  *薄膜 ,  鉛 ,  *ビスマス ,  X線回折分析 ,  誘電性 ,  二酸化ケイ素 ,  *圧電気 ,  *レーザ照射 ,  *レーザビーム ,  *結晶度 ,  薄膜成長 ,  自発分極 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  基板温度 ,  *パルスレーザ蒸着
準シソーラス用語： 薄膜形成 , 【Automatic Indexing@JST】

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (8件)： アシスト ,  レーザー光照射 ,  PLD法 ,  作製 ,  BiFeO3 ,  薄膜 ,  結晶性 ,  圧電特性