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文献
J-GLOBAL ID:202102243782075851   整理番号:21A0696240

非鉛BiFeO3圧電膜を用いた圧電MEMS振動発電素子の非線形特性

Characterization of Mechanical Nonlinear effect in Piezoelectric MEMS Vibration Energy Harvesters using Lead-Free BiFeO3 Film
著者 (5件):
資料名:
巻: 81st  ページ: ROMBUNNO.8p-Z17-11  発行年: 2020年08月26日 
JST資料番号: Y0055B  ISSN: 2758-4704  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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【はじめに】我々は構造が簡便で小型化に有利な圧電MEMS振動発電素子の研究開発を進めている。今までに、振動加速度が増加した際のPb(Zr,Ti)O3(PZT)圧電膜を用いた振動発電素子の非線形出力について報告している1)。今回、非鉛BiFe...【本文一部表示】
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分類 (1件):
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圧電デバイス 

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