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J-GLOBAL ID：202102252268583533   整理番号：21A1428501

ブリッジ型Pt超薄膜水素センサの感応部形状の検討

Study on the Shape of Sensitive part of Bridge Type Ultra-thin Film Hydrogen Sensor

著者 (10件)： 森貴啓 (岡山大) ,  小部寛斗 (岡山大) ,  WANG Jin (岡山大) ,  堺健司 (岡山大) ,  塚田啓二 (岡山大) ,  紀和利彦 (岡山大) ,  近藤健二 (リコー電子デバイス) ,  高橋琢哉 (リコー電子デバイス) ,  中川眞 (リコー電子デバイス) ,  上田尚宏 (リコー電子デバイス)
資料名： 電気学会全国大会講演論文集(CD-ROM)  (Annual Meeting Record, I.E.E. Japan (CD-ROM))
巻： 2021  ページ： ROMBUNNO.3-171  発行年： 2021年03月01日 
JST資料番号： S0653B  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ・水素に対して触媒作用を持つ白金を用いた超薄膜抵抗変化水素センサの部分的被膜によるブリッジ回路形成による温度等の影響低減構造の開発。
・ガラス基板上のTiN接着層上への白金薄膜の形成と部分的アルミナ被覆によるブリッジ型白金超薄膜水素センサの構成,及びセンサ部表面積の増大による電圧変化の増大の確認。

シソーラス用語： ブリッジ回路 ,  白金 ,  超薄膜 ,  *ガスセンサ ,  *電気抵抗 ,  設計 ,  基板 ,  電気装置部品 ,  素子構造
準シソーラス用語： ガラス基板 ,  形状設計 ,  *水素センサ

分類 (1件)： 電気分析一般  (CC05010C)

引用文献 (1件)：

• K. Tsukada, S. Takeichi, K. Sakai, and T. Kiwa: “Ultrathin-film hydrogen gas sensor with nanostructurally modified surface”, JJAP, Vol.53, p.076701 (2014)

タイトルに関連する用語 (4件)： ブリッジ ,  Pt ,  超薄膜 ,  水素センサ