- 2022 - 2025 磁力による非接触駆動と可撓機構支持で高精度位置決めを達成する2軸微動装置の開発
- 2021 - 2024 機上測定用3×3センサアレイの開発と冗長データを活用する平面形状測定法の提案
- 2019 - 2022 テーブルの浮上支持と精密位置決めをスクイーズ効果で可能にする微動機構の開発
- 2017 - 2020 機械加工面用オンマシンナノプロファイラデバイスの開発
- 2017 - 2019 磁力制御と自重で高精度位置決めを可能にする磁気浮上式微動テーブルの開発
- 2013 - 2016 機械平面形状計測のための多点変位同時測定デバイスの開発
- 2016 - 可撓支持による磁力を利用した摺動摩擦フリー位置決め
- 2014 - スクイーズ効果による浮上支持を利用した位置決め
- 2010 - 2012 運動誤差測定用3点法マイクロプローブユニットの開発と新調整アルゴリズムの実証
- 2007 - スクイーズ膜支持効果に関する基礎研究
- 2005 - 微小変位機構に関する研究
- 1998 - 2000 PZTを利用した超微小変位機構の開発
- 1996 - 1998 粗微動一体形超精密送り装置の開発
- 1996 - 1997 粗微動一体形超精密送り装置の開発
- 1996 - 送りねじによる間座予圧変化を利用した位置決め
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