Procédé de mise en motifs de matériau auto-organisateur, substrat mis en motifs de matériau auto-organisateur et procédé de fabrication dudit substrat et photomasque utilisant le substrat mis en motifs de matériau auto-organisateur
Method of patterning self-organizing material, patterned substrate of self-organizing material and method of producing the same, and photomask using patterned substrate of self-organizing material