石川健治

イシカワケンジ | Ishikawa Kenji

所属機関・部署：
職名：教授
その他の所属（所属・部署名・職名） (1件)：

研究分野 (1件)：応用物理一般

研究キーワード (12件)：プラズマ診断 , その場実時間計測 , 和周波振動分光 , 赤外分光 , 電子常磁性共鳴 , 電子スピン共鳴 , プラズマ農業 , プラズマ医療 , プラズマエッチング , プラズマ生化学 , 低温プラズマ生物学 , ドライプロセス

競争的資金等の研究課題 (17件)：

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論文 (199件)：

Dhasiyan A.K, Amalraj F.W, Jayaprasad S, Shimizu N, Oda O, Ishikawa K, Hori M. Epitaxial growth of high-quality GaN with a high growth rate at low temperatures by radical-enhanced metalorganic chemical vapor deposition. Scientific Reports. 2024. 14. 1. 10861
Hu L, Ishikawa K, Nguyen T.T.N, Hsiao S.N, Hori M. Selective removal of single-layer graphene over double-layer graphene on SiO#D2#DR by remote oxygen plasma irradiation. Applied Surface Science. 2024. 669
Oehrlein G.S, Brandstadter S.M, Bruce R.L, Chang J.P, DeMott J.C, Donnelly V.M, Dussart R, Fischer A, Gottscho R.A, Hamaguchi S, et al. Future of plasma etching for microelectronics: Challenges and opportunities. Journal of Vacuum Science and Technology B. 2024. 42. 4
Minh N.Q, Van Nong N, Oda O, Ishikawa K, Hori M. Low-temperature growth at 225 °C and characterization of carbon nanowalls synthesized by radical injection plasma-enhanced chemical vapor deposition. Vacuum. 2024. 224
Tsutsumi, T, Asano, A, Kondo, H, Ishikawa, K, Sekine, M, Hori, M. #IIn situ#IR atom-resolved observation of Si (111) 7x7 surface with F radical and Ar ion irradiation simulated atomic layer etching. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A. 2024. 42. 3

書籍 (12件)：

シリコンと化合物半導体の超精密・微細加工プロセス技術 -工程別加工技術の基礎と最新動向-
シーエムシー出版 2024 ISBN:9784781317571
高アスペクト比エッチングにおけるプラズマの挙動と表面反応の制御
技術情報協会 2023 ISBN:9784861049828
Chapter 2. Physical and chemical basis of non-thermal plasma. In: "Plasma Medical Science"
Academic Press 2018 ISBN:9780128150054
Chapter 5. "Plasma Diagnostics" In: "Cold Plasma in Food and Agriculture, Fundamentals and Applications"
Academic Press 2016 ISBN:9780128013656
7.2節表面計測法 In: プラズマプロセス技術
森北出版 2016 ISBN:9784627775619

講演・口頭発表等 (181件)：

非平衡大気圧プラズマがゼブラフィッシュに及ぼす影響とその機構解明
(第70回応用物理学会春季学術講演会 17p-A409-9 2023)
プラズマ活性乳酸リンゲル液によるがん細胞死経路上のオートファジー観察
(第70回応用物理学会春季学術講演会 17a-A409-6 2023)
カーボンナノウォール足場上での電気刺激重畳培養におけるヒト間葉系幹細胞の形態変化
(第70回応用物理学会春季学術講演会 17a-A409-2 2023)
C2F4の電子物性とPTFEの生成機構
(第70回応用物理学会春季学術講演会 17p-A205-18 2023)
F2添加 Ar プラズマを用いた基板昇温下での AlGaN の原子層エッチング
(第70回応用物理学会春季学術講演会 17p-A205-11 2023)

経歴 (2件)：

所属学会 (4件)：

日本酸化ストレス学会 , プラズマ核融合学会 , 応用物理学会 , 米国真空学会

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石川 健治