研究者
J-GLOBAL ID:200901080434645990
更新日: 2024年09月02日
清原 修二
キヨハラ シュウジ | Kiyohara Shuji
所属機関・部署:
職名:
准教授
ホームページURL (1件):
http://www.maizuru-ct.ac.jp/control/kiyohara/index.html
研究分野 (5件):
加工学、生産工学
, ナノマイクロシステム
, ナノ材料科学
, ナノ構造物理
, ナノ構造化学
研究キーワード (7件):
MEMS
, ナノインプリント
, DLC
, 荷電ビーム応用
, ダイヤモンド
, ナノ加工
, ナノテクノロジー
競争的資金等の研究課題 (13件):
- 2023 - 2024 超精密切削用ダイヤモンド工具のECR酸素イオンビーム加工による性能の改善
- 2022 - 2023 超音波振動を利用した液滴室温ナノインプリントによるDLCナノエミッタの作製
- 2017 - 2019 混合蒸気同軸導入フィルタードアーク蒸着装置の試作と高機能高密度カーボン膜の開発
- 2017 - 2018 液滴室温リバーサルマイクロコンタクトプリントリソグラフィによるDLCエミッタの開発
- 2014 - 2017 スーパートライボ軸受けを持つ小型フライホイールバッテリの可能性探究
- 2016 - 2017 ダイヤモンドライクカーボン膜等機能成膜の形成
- 2012 - 2016 フィルタードアーク蒸着装置の高機能化と高品質水素フリーDLC膜の形成・加工
- 2011 - 2014 アルミニウムナノインプリント法によるダイヤモンドエミッタの開発
- 2012 - 2013 ダイヤモンドライクカーボン膜の微細加工と特性評価
- 2011 - 2012 ダイヤモンドライクカーボン膜の微細加工と特性評価
- 2002 - 2003 ダイヤモンド型ナノインプリントリソグラフィによるマイクロ発光ダイオードの作製
- 2000 - 2001 電子ビームリソグラフィによるCVDダイヤモンド薄膜の超微細パターン形成
- 1998 - 1999 ECRプラズマ法によるダイヤモンドの超微細加工
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論文 (45件):
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Ippei Ishikawa, Atsushi Kimoto, Shuji Kiyohara. Development of UV-Irradiated PADC and Improvement of Etching for Reducing Experimental Time. Materials. 2023. 16. 15. 5413-5413
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清原修二, 石川一平, 針谷達, 滝川浩史, 倉島優一. 室温ナノインプリントリソグラフィを用いた小・中学生のためのナノテクノロジー教育. 応用物理教育. 2021. 45. 1. 1-6
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清原修二, 石川一平, 飯田裕樹, 藤原魁人, 山邊弘太, 吉永修司, 針谷達, 滝川浩史, 倉島優一. 液滴室温ナノインプリントを用いた小・中学生のためのナノテクノロジー教育. SEAJ Journal. 2021. 172. 13-15
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清原修二, 石川一平, 伊藤大洋, 針谷達, 滝川浩史, 倉島優一. 超音波振動液滴室温ナノインプリントリソグラフィによるDLCデバイスの開発. SEAJ Journal. 2020. 168. 168. 43-47
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清原修二, Nakul Thanatith, 伊藤大洋, 伊東成留, 福田京平. 液滴室温ナノインプリントによるDLCマイクロ・ナノデバイスの開発. SEAJ Journal. 2019. 164. 164. 37-41
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MISC (48件):
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木本 敦, 石川 一平, 清原 修二. 短時間で実験可能なPADCを用いた放射線教育手法の開発. 第36回固体飛跡検出器研究会アブストラクト集. 2024
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清原修二, 石川一平, 坂東隆宏, 針谷達, 滝川浩史, 倉島優一. 室温ナノインプリントによるDLCマイクロ・ナノパターン形成と半導体人材育成. 第71回応用物理学会春季講演会予稿集. 2024. 05-212
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市場 颯馬, 石川 一平, 清原 修二. 不純物を添加したPADCの溶けやすさに与える影響の検証. 日本高専学会第29回年会講演会講演概要集. 2023. 148-149
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木本 敦, 石川 一平, 清原 修二. 固体飛跡検出器のエッチング特性に関する研究. 日本高専学会第29回年会講演会講演概要集. 2023. 146-147
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小山 征野, 石川 一平, 清原 修二. エッチング時間短縮を目的とした固体飛跡検出器の改質. 日本高専学会第29回年会講演会講演概要集. 2023. 144-145
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書籍 (1件):
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大問題!
オーム社 2007 ISBN:9784274066993
講演・口頭発表等 (77件):
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室温ナノインプリントによるDLCマイクロ・ナノパターン形成と半導体人材育成
(第71回応用物理学会春季講演会 2024)
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短時間で実験可能なPADCを用いた放射線教育手法の開発
(第36回固体飛跡検出器研究会 2024)
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不純物を添加したPADCの溶けやすさに与える影響の検証
(日本高専学会第29回年会講演会 2023)
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固体飛跡検出器のエッチング特性に関する研究
(日本高専学会第29回年会講演会 2023)
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エッチング時間短縮を目的とした固体飛跡検出器の改質
(日本高専学会第29回年会講演会 2023)
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学歴 (3件):
- 1994 - 1997 東京理科大学 基礎工学研究科 電子応用工学専攻 博士後期課程 修了
- 1992 - 1994 東京理科大学 基礎工学研究科 電子応用工学専攻 修士課程 修了
- 1990 - 1992 東京理科大学 基礎工学部 電子応用工学科 卒業
学位 (1件):
委員歴 (1件):
- 2021/03 - 現在 国立高等専門学校機構本部 研究推進・産学連携本部 本部員
受賞 (13件):
- 2024/03 - 応用物理学会 第1回応用物理学会シリコン系半導体エレクトロニクス高専活性化奨励賞(名取研二高専活性化奨励賞)
- 2023/12 - THE 高専@SEMICON Japan 2023,セミコンジャパン プレゼン大会 3位
- 2023/03 - 令和4年度電気学会高専研究発表会,電気学会 論文発表賞
- 2018/12 - セミコンジャパン プレゼン大会準優勝 THE 高専@SEMICON Japan 2018
- 2018/09 - 日本高専学会 優秀ポスター賞 UV-PDMSモールド液滴室温リバーサルマイクロコンタクトプリントによるDLCドットアレイの作製
- 2018/03 - 電気学会 論文発表賞 平成29年度電気学会関西支部高専卒業研究発表会
- 2017/12 - セミコンジャパン プレゼン大会敢闘賞 THE 高専@SEMICON Japan 2017
- 2017/03 - ISPlasma2017/ICPLANTS2017 Best Presentation Award
- 2017/03 - 電気学会 論文発表賞 平成28年度電気学会関西支部高専卒業研究発表会
- 2016/07 - 精密工学会 ベストポスタープレゼンテーション賞 2016年度精密工学会関西地方定期学術講演会
- 2015/12 - セミコンジャパン プレゼン大会優勝 THE 高専@SEMICON Japan 2015
- 2015/06 - 精密工学会 ベストポスタープレゼンテーション賞 2015年度精密工学会関西地方定期学術講演会
- 2013/09 - 応用物理学会 Poster Award 2013年応用物理学会秋季学術講演会
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所属学会 (5件):
ナノ学会
, Materials Research Society
, 応用物理学会
, 精密工学会
, 日本表面真空学会
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