研究者
J-GLOBAL ID:200901089064681760   更新日: 2024年09月20日

真田 俊之

サナダ トシユキ | TOSHIYUKI SANADA
所属機関・部署:
職名: 教授
研究分野 (1件): 流体工学
研究キーワード (5件): 洗浄 ,  液滴 ,  気泡 ,  混相流 ,  流体力学
競争的資金等の研究課題 (19件):
  • 2024 - 2027 気泡列の安定性評価による気泡クラスター形成機構の解明
  • 2024 - 2026 蒸気中の液滴固体面衝突における凝縮効果によるsplash発生抑制機序の解明
  • 2023 - 2026 脱CO2を目指した誘導帯電技術を用いた新たな半導体デバイス製造プロセスの創出
  • 2020 - 2023 高Oh液滴の固体面衝突直後に発生するsplashの相似則構築とメカニズム解明
  • 2019 - 2022 音波照射による微細孔への液体侵入促進および液置換・乾燥技術への展開
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論文 (103件):
  • Yuma Kasai, Yoshinori Jinbo, Hideya Kamikawa, Toshiyuki Sanada. Global and local breakthrough curves: A concept for filtration design through analysis of internal concentration distribution using CFD. Chemical Engineering Research and Design. 2024. 207. 110-120
  • Naoto Doi, Shinsuke Watanabe, Hiroki Takahashi, Satomi Hamada, Masayoshi Imai, Toshiyuki Sanada. Agitation inside the Liquid Film on Two-Fluid Jet Sprayed Surface. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2024. 37. 4. 397-400
  • Shinsuke WATANABE, Yuki MIZUSHIMA, Toshiyuki SANADA. Thin liquid film thickness measurement using stepped-index-type optical fiber sensors. Journal of Fluid Science and Technology. 2024. 19. 2. JFST0007-JFST0007
  • S. Watanabe, Y. Mizushima, H. Takahashi, S. Hamada, M. Imai, T. Sanada. Measurement of Liquid Film Thickness Distribution Formed on a Two-fluid Jet Sprayed Surface Using a Fiber Optic Probe. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2023. 4. 249-252
  • H. Furuichi, K. Katono, Y. Mizushima, T. Sanada. The Effects of Curved Gas-Liquid Interface on Light Reflectance Liquid Film Measurement for an Optical Waveguide Film. Nuclear Science and Engineering. 2023. 11. 2950-2960
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MISC (19件):
  • 真田俊之, 濵田聡美. CMP工程後におけるPVAブラシ洗浄について. 砥粒加工学会誌. 2023. 7. 393-396
  • 真田俊之, 鈴木翔大, 水嶋祐基, 濵田聡美. PVAロールブラシによるウェハ洗浄. 混相流. 2023. 2. 182-188
  • 澤井 冴, 渡部 正夫, 小林 一道, 藤井 宏之, 真田 俊之. エタノール液滴のスプラッシュ発生に及ぼす蒸気の凝縮効果. 流体工学部門講演会講演論文集. 2019. 2018. OS2-17
  • 芦田 拓, 渡部 正夫, 小林 一道, 藤井 宏之, 真田 俊之. 低圧環境下における高速液滴衝突直後に発生するsplashの観察. 流体工学部門講演会講演論文集. 2018. 2018. OS2-9
  • 真田 俊之, 渡部正夫. 流体物理洗浄(3)ジェット洗浄、ブラシ洗浄、その他. ケミカルタイムズ. 2015. 238. (num). 22-27
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書籍 (1件):
  • 生体工学概論
    コロナ社 2006
講演・口頭発表等 (181件):
  • 二流体ジェット噴射面における液膜内攪拌効果の検討
    (応用物理学会界面ナノ電子科学研究会ポスター展 2023)
  • 二流体ジェット噴射面に形成される液膜厚さ分布への液体温度の影響
    (応用物理学会界面ナノ電子科学研究会ポスター展 2023)
  • 光導波路を用いた混相流計測技術
    (日本機械学会RC297第三回研究分科会 2023)
  • Observation of PVA roller brush nodule deformation and liquid movement
    (The 18th International Conference on Planarization/CMP Technology 2023 2023)
  • PVAブラシの変形に伴う液体流出及び流入挙動の観察
    (第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023)
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学歴 (6件):
  • - 2005 九州大学 工学府 機械科学専攻
  • - 2005 九州大学
  • - 2002 九州大学 工学府 機械科学専攻
  • - 2002 九州大学
  • - 2000 九州大学 工学部 機械工学科
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学位 (1件):
  • 博士(工学) (九州大学)
受賞 (7件):
  • 2019/08 - 日本混相流学会 2018年度日本混相流学会賞 論文賞 鉛直線上の2気泡間相互作用
  • 2013/08 - 化学工学会論文審査貢献賞
  • 2013/08 - 日本混相流学会論文賞
  • 2008/08 - 日本混相流学会奨励賞 (課題名:気泡挙動に関するモデリング)
  • 2008/05 - 日本ウォータージェット学会 奨励賞 (課題名:蒸気を用いた半導体洗浄装置の開発)
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所属学会 (6件):
American Physical Society ,  応用物理学会 ,  日本ウォータージェット学会 ,  化学工学会 ,  日本混相流学会 ,  日本機械学会
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