研究者
J-GLOBAL ID:200901090561066385
更新日: 2024年06月19日
渋谷 眞人
シブヤ マサト | Shibuya Masato
ホームページURL (1件):
http://www.t-kougei.ac.jp/engineering/index.html
研究分野 (3件):
航空宇宙工学
, 電気電子材料工学
, 光工学、光量子科学
研究キーワード (4件):
光リソグラフィー
, 光学設計
, Optical Lithography
, Optical Design
競争的資金等の研究課題 (6件):
宇宙光学系
光リソグラフィーの超解像技術
光学系の基礎理論
Space Optics
Resolution enhancement technology of optical lithography
Fundamental analysis of Optics
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MISC (11件):
Deviation of the generalized equation of distortion by integrating the optical differential invariant. OPI1K. 2001. 113(1), 1-3
Deviation of the generalized equation of distortion by integrating the optical differential invariant. OPI1K. 2001. 113(1), 1-3
超解像の光学(分担執筆). 学会出版センター. 1999
M Shibuya, CG Krautschik, KKH Toh. Mathematical treatment of condenser aberration. OPTIK. 1999. 110. 12. 583-587
投影光学系リソグラフィーの評価法. 光学. 1994. 23. 29
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特許 (3件):
投影露光装置
照明光学装置
被投影原版
学位 (1件):
博士(工学) (東京大学)
委員歴 (5件):
2002 - 次世代リソグラフィー研究会 幹事
2001 - 応用物理学会 評議員
1993 - 1998 光設計研究グループ 運営委員
1994 - 1996 日本光学会 編集委員
1989 - 1991 日本光学会 常任幹事
受賞 (1件):
1996 - 科学技術庁長官賞
所属学会 (4件):
次世代リソグラフィー研究会
, 光設計研究グループ
, 応用物理学会
, 日本光学会
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