研究者
J-GLOBAL ID:201801006097796668   更新日: 2023年11月14日

矢野 絢子

Yano Ayako
所属機関・部署:
研究分野 (1件): 流体工学
競争的資金等の研究課題 (2件):
  • 2022 - 2025 微細構造体内に浸入する液体挙動の解明
  • 2015 - 2018 局所的なイオン流動現象の可視化観察および理論的究明
論文 (26件):
  • Ayako Yano, Kyoichi Hamada and Kenji Amagai. Evaluation of Coating Film Formation Process Using the Fluorescence Method. Coatings. 2021. 11. 9. 1076
  • Naoyuki Handa, Hirokuni Hiyama, Kenji Amagai and Ayako Yano. Experimental and Modeling Investigation of the Mechanism for Preventing Readhesion via Zeta Potential in the Spin-Rinse Process. ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2021. 10. 4. 044002
  • N. Handa, H. Hiyama, K. Amagai and A. Yano. Experimental and Modelling Investigation of Re-Adhesion Mechanism of Detached Nanoparticles to Wafer Surface in Spin Rinse Process. ECS Journal of Solid State Science and Technology. 2020. 9. 6. 064001
  • 新井 翼, 天谷 賢児, 矢野 絢子, 檜山 浩國, 濱田 聡美, 今井 正芳, 半田 直廉. ウェーハの端部に付着した液滴の除去に関する研究. 日本機械学会関東支部総会講演会講演論文集. 2020. 2020. 0
  • YANO Ayako, AMAGAI Kenji, MATSUMOTO Kazuki, HIYAMA Hirokuni, FUKUNAGA Akira, SHIMA Shohei, HANDA Naoyuki. Droplet Evaporation and Watermark Formation on Si Wafers with Various Films. Journal of the Japan Society for Precision Engineering. 2020. 86. 1. 65-70
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MISC (12件):
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講演・口頭発表等 (13件):
  • Droplet Evaporation and Watermark Formation on Si-Wafers with Various Film
    (17 th International Conference on Precision Engineering 2018)
  • Visualization of paint film formation process on spray coating
    (13th International Symposium on Advanced Science and Technology in Experimental Mechanics 2018)
  • Flow Pattern Observation of Upper and Lower Surface Cleaning on Rotating Wafer
    (2018 International Conference on Planarization/CMP Technology 2018)
  • Fundamental study of liquid removal from the wafer surface
    (Clarkson University 22 nd International Symposium on Chemical-Mechanical Planarization 2018)
  • Study on Energy Recovery Ventilator with Water Spray Cooling System
    (International Conference on Technology and Social Science 2018 2018)
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学歴 (4件):
  • 2015 - 2017 大阪大学大学院 基礎工学研究科 機能創成専攻
  • 2013 - 2015 大阪大学大学院 基礎工学研究科 機能創成専攻
  • 2011 - 2013 香川高等専門学校専攻科 電子情報通信工学専攻
  • 2006 - 2011 詫間電波工業高等専門学校 電子工学科
学位 (1件):
  • 博士(工学)
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