後藤哲也

ゴトウテツヤ | Goto Tetsuya

所属機関・部署：
職名：教授

研究分野 (2件)：プラズマ科学 , 電気電子材料工学

研究キーワード (2件)：プラズマ , 半導体

競争的資金等の研究課題 (6件)：

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論文 (146件)：

Tetsuya Goto, Tomoyuki Suwa, Keita Katayama, Shu Nishida, Hiroshi Ikenoue, Shigetoshi Sugawa. Threshold voltage uniformity improvement by introducing charge injection tuning for low-temperature poly-Si thin film transistors with metal/oxide/nitride/oxide/silicon structure. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 2. 02SP51-02SP51
Y. Sakai, Y. Shiba, T. Inada, T. Goto, T. Suwa, T. Oikawa, A. Hamaya, A. Sutoh, T. Morimoto, Y. Shirai, et al. Visualization and Analysis of Temporal and Steady-State Gas Concentration in Process Chamber Using 70-dB SNR 1,000 fps Absorption Imaging System. IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing. 2023. 36. 4. 515-519
Tetsuya Goto, Tomoyuki Suwa, Keita Katayama, Shu Nishida, Hiroshi, Ikenoue, Shigetoshi Sugawa. Threshold Voltage Control of LTPS TFTs with MONOS Structure. 2023 International Conference on Solid State Devices and Materials. 2023. E-7-02. 245-246
Tetsuya Goto, Tomoyuki Suwa, Keita Katayama, Shu Nishida, Hiroshi Ikenoue, Shigetoshi Sugawa. Characterization of MONOS-Type Polycrystalline Silicon Thin Film Transistors. 2023 Asia-Pacific Workshop on Fundamentals and Applications of advanced Semiconductor Devices (AWAD2023). 2023. P-4
Yoshiaki Kakimoto, Keita Katayama, Takuma Yasunami, Tetsuya Goto, Daisuke Nakamura, Hiroshi Ikenoue. Excimer laser doping for the fabrication of 4H-SiC power devices. Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing (LAMOM) XXVIII. 2023. 12408

MISC (63件)：

西田脩, 片山慶太, 中村大輔, 後藤哲也, 池上浩. 強度分布を有するエキシマレーザーアニールによる結晶粒径制御と低温ポリシリコン薄膜トランジスタ特性. 電子情報通信学会技術研究報告, シリコン材料・デバイス研究会. 2023. SDM2023-58. 27-33
後藤哲也. 磁場閉じ込め型プラズマ CVD によるシリコン窒化膜形成. 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術-成膜技術、リソグラフィ、エッチング、 CMP、洗浄-. 2023. 92-101
後藤哲也, 諏訪智之, 片山慶太, 西田脩, 池上浩, 須川成利. MONOS 型低温ポリシリコン TFT におけるしきい値電圧制御. 第 84 回応用物理学会秋季学術講演会. 2023. 20p-B201-7. 12-088
岩泉裕生, 安並拓磨, 片山慶太, 柿本祥明, 中村大輔, 後藤哲也, 池上浩. レーザードーピング後の光学顕微鏡画像を用いた機械学習による 4H-SiC 電極のコンタクト状態の予測. 第 70 回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集. 2023. 17p-A405-4. 03-442
後藤哲也, 諏訪智之, 須川成利. MONOS 型ポリシリコン TFT でのしきい値電圧制御に関する検討. 第 70 回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集. 2023. 15p-B410-5. 12-016

講演・口頭発表等 (6件)：

AI による Si 薄膜トランジスタの電気特性推定」AIによるSi薄膜トランジスタの電気特性推定
(第 69 回応用物理学会春季学術講演会シンポジウム 2022)
半導体製造用成膜プロセスの高性能化に向けた取り組み
(第32回マイクロエレクトロニクス研究会 2020)
プラズマ成膜技術の将来展望
(化学工学会第51回秋季大会 2020)
YOFコーティングのプラズマ耐性
(応用物理学会シリコンテクノロジー分科会第223回研究集会 2020)
Selective Laser Annealing Technology for LTPS Thin Film Transistors Fabrications
(2019 International Conference on Solid State Devices and Materials 2019)

学歴 (1件)：

学位 (1件)：

経歴 (4件)：

委員歴 (3件)：

受賞 (2件)：

2022/05 - 映像情報メディア学会丹羽高柳賞論文賞
2013/05 - Society for Information Display, SID2013 Distinguished Paper Award, "Electrical Properties of Amorphous InGaZnO Thin-Film Transistors Prepared by Magnetron Sputtering Using Kr and Xe Instead of Ar"

所属学会 (3件)：

電気学会 , 応用物理学会 , 表面真空学会

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後藤 哲也