研究者
J-GLOBAL ID：201901007438780947
更新日: 2024年01月30日
笹子 勝
ササゴ マサル | Sasago Masaru
研究キーワード (5件)：
半導体集積化技術
, 三次元パッケージ技術
, メタマテリアル
, 微細加工
, リソグラフィ
競争的資金等の研究課題 (1件)：
経歴 (3件)：
- 2022/12 - 現在 大阪公立大学 工学研究科 客員教授
- 2021/01 - 現在 量子超加工ラボ 代表
- 1978/12 - 2021/12 パナソニック株式会社 インダストリアルカンパニー 技術顧問
委員歴 (2件)：
- 2022/12 - 現在 3DHIコンソーシアム 事務局
- 2021/01 - 現在 半導体3Dプロセスインフォマティクス研究会 副会長
受賞 (3件)：
- 2013/05 - 応用物理学会 フェロー エキシマレーザーリソグラフィ技術の先駆的研究と工業化推進
- 2010/05 - 文部科学省 文部科学大臣科学技術賞 半導体超微細加工用エキシマレーザーリソグラフィ技術の開発
- 2008/11 - 材料科学技術振興財団 山崎貞一賞 エキシマレーザーリソグラフィ技術の先駆的研究と 工業化推進
所属学会 (3件)：
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