竹内雅耶

タケウチマサヤ | Takeuchi Masaya

所属機関・部署：
職名：助教

研究分野 (3件)：薄膜、表面界面物性 , 量子ビーム科学 , 量子ビーム科学

研究キーワード (5件)：放射光分析 , ナノ・マイクロプロセス , 微細加工 , クラスターイオンビーム , 表面科学

競争的資金等の研究課題 (5件)：

論文 (17件)：

Masaya Takeuchi, Noriaki Toyoda. Pressure resistance evaluation of an ultrathin SiNx membrane etched by a gas cluster ion beam. Nuclear Instruments and Methods in Physics Research Section B: Beam Interactions with Materials and Atoms. 2024. 550. 165317-165317
Masaya Takeuchi, Reki Fujiwara, Noriaki Toyoda. Atomic layer etching of silicon nitride film by oxygen gas cluster ion beam with acetylacetone. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. SG. SG1051-SG1051
S. Hanahara, M. Takeuchi, N. Toyoda. Surface preparation of metal films by gas cluster ion beams using organic acid vapor for Cu-Cu bonding. Japanese Journal of Applied Physics. 2022. 61. SF. SF1004-SF1004
Kohzo Tamada, Sho Amano, Kana Okamoto, Masaya Takeuchi, Akinobu Yamaguchi, Yuichi Utsumi, Tohru Yamasaki. Fabrication of Ni-W microgears using LIGA process. Sensors and Materials. 2021. 33. 12. 4455-4460
Mitsuyoshi KISHIHARA, Masaya TAKEUCHI, Akinobu YAMAGUCHI, Yuichi UTSUMI, Isao OHTA. Design and Fabrication of PTFE Substrate Integrated Waveguide Coupler by SR Direct Etching. IEICE TRANSACTIONS on Electronics. 2021. E104-C. 9. 446-454

講演・口頭発表等 (24件)：

液体、気体、生物試料の真空中分析
(第84回分析化学討論会)
GCIB照射で極薄化した電子線透過窓を用いた液体セルによるSEM/EDS検出の高感度化
(第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
GCIBエッチングを用いたSiNx膜の極薄化と液体セル電子透過窓への適用
(電子情報・システム部門光・量子デバイス研究会 2023)
Reactive etching and pressure resistance evaluation of SiNx film by O2-GCIB for electron transmission window of liquid cell
(MNC2023 2023)
Imaging and spectroscopy of liquid-water using X-ray PEEM
(Frontier of Soft X-ray Spectroscopy for Chemical Processes in Solutions 2023)

学歴 (3件)：

学位 (1件)：

経歴 (4件)：

委員歴 (4件)：

受賞 (5件)：

2024/02 - 電気学会電子情報・システム部門光・量子デバイス研究会技術委員奨励賞 GCIBエッチングを用いたSiNx膜の極薄化と液体セル電子透過窓への適用
2022/05 - 応用物理学会第52回(2022年春季)応用物理学会講演奨励賞 GCIBを用いた原子層エッチングによるSi3N4膜の極薄化及びその耐圧性評価
2018/07 - The 9th Japan-China-Korea Joint Conference on MEMS/NEMS Best Presentation Award Characteristics of new deep X-ray lithography beamline (BL11) at NewSUBARU
2018/03 - 兵庫県立大学高度産業科学技術研究所先端技術セミナー 2018 学生ポスター賞汎用ディープX線リソグラフィービームライン(BL11)を用いた大面積均一加工の検討
2016/10 - 応用物理学会第8回集積化MEMSシンポジウム (口頭発表) 研究奨励賞免疫測定のための高精度単位化学操作を実現するLab-on-a-CDの提案

所属学会 (3件)：

電子情報通信学会 , 応用物理学会 , 電気学会

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竹内 雅耶