研究者

J-GLOBAL ID：202301018239088087 更新日: 2024年01月30日

粕壁善隆

カスカベヨシタカ | KASUKABE YOSHITAKA

所属機関・部署：
職名：教授
競争的資金等の研究課題 (10件)：

2013 - 2016 レーザーアシストイオン注入法によるシリコン・チタン不定比窒化物の物性と機能化
2008 - 2010 シリコン・チタン窒化物及び酸化物の不定比物性と機能化に関する研究
2005 - 2006 不定比化合物シリコン・チタン窒化物の高機能化に関する研究
2001 - 2002 反射高速電子回折・電子分光法による窒化チタン薄膜の高機能化に関する研究
2001 - 2002 イオン照射下における固体中原子移動機構の研究

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