吉田慎哉

ヨシダシンヤ | Yoshida Shinya

所属機関・部署：
職名：准教授
ホームページURL (1件)： https://sites.google.com/site/shinyayoshidaresearch01/

研究分野 (5件)：生体材料学 , 生体医工学 , 応用物理一般 , 電子デバイス、電子機器 , ナノマイクロシステム

研究キーワード (5件)：集積化MEMS , 圧電MEMS , マイクロ・ナノリソグラフィ , MEMS , 微細加工学

競争的資金等の研究課題 (3件)：

論文 (84件)：

Akihiko Teshigahara, Tetsuya Enomoto, Hideo Yamada, Shinya Yoshida. Reduction mechanism of loss tangent of scandium-doped aluminum nitride thin film by post-deposition annealing. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 9. 095501
Shinya Yoshida, Yu Katsumata, Shuji Tanaka. Fabrication and characterization of monocrystalline-based composite Pb(Zr, Ti)O₃ thin film patterned with a polycrystalline crack stopper structure. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 7. 075501-075501
Akihiko Teshigahara, Tetsuya Enomoto, Hideo Yamada, Shinya Yoshida. Influence of underlayer roughness on the properties of Sc_0.4Al_0.6N thin films prepared via sputter deposition. Japanese Journal of Applied Physics. 2024. 63. 5. 055501-055501
Xuanmeng Qi, Shinya Yoshida, Sarah Risquez, Anirban Ghosh, Mohssen Moridi, Shuji Tanaka. Fabrication of a piezoelectric micromachined ultrasonic transducer (PMUT) with dual heterogeneous piezoelectric thin film stacking. Journal of Micromechanics and Microengineering. 2024. 34. 3. 035005-035005
Kai Fukushi, Shinya Yoshida, Xuanmeng Qi, Shuji Tanaka. EPITAXIAL SM-DOPED PMN-PT FILM WITH HIGH PIEZOELECTRIC CONSTANT FOR MEMS APPLICATION. Proc. IEEE MEMS2024. 2024. 23. January. 765-768

MISC (96件)：

岩田侑次郎, 吉田慎哉. 圧電MEMS-BAWジャイロスコープのための単結晶PZT-Siディスク共振子の設計とプロセス開発. 電気学会研究会資料(マイクロマシン・センサシステム研究会). 2024. 1-6
片貝有作, 勅使河原, 明彦, 吉田慎哉. バッファ層の領域選択的ウェットエッチングを利用した単結晶・多結晶コンポジットPZT薄膜のスパッタ成膜. 第71回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集. 2024. 23a-12H-4
加藤創吉, 勅使河原, 明彦, 吉田慎哉. 圧電薄膜積層MEMSアクチュエータへの応用を目指したPZT/LaNiO3/PZTエピタキシャル積層構造の作製. 第71回応用物理学会春季学術講演会講演予稿集. 2024. 23a-12H-3
吉田慎哉. 最近の進歩,飲み込み型センサ. 人工臓器. 2022. 51. 3. 169-172
吉田慎哉. 高性能圧電薄膜を用いたMEMS 超音波撮像システムの開発. 機械の研究. 2022. 74. 3. 171-176

特許 (9件)：

書籍 (3件)：

講演・口頭発表等 (184件)：

Sputter Deposition of Mono and Polycrystalline Composite PZT Thin Film Using Area-Selective Modification of Buffer Layer Surface by Wet Etching
(UFFC-JS 2024 (2024 Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium))
Fabrication of PZT/LaNiO3/PZT Epitaxial Multilayer Structure for Application to Piezoelectric MEMS Actuators
(UFFC-JS 2024 (2024 Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium))
Suppression of Pyrochlore Phase Growth in Sm-PMN-PT Epitaxial Thin Film Prepared via Sputter Deposition by Modification of Seed Layer Surface
(UFFC-JS 2024 (2024 Ultrasonics, Ferroelectrics, and Frequency Control Joint Symposium))
巨大圧電性を有するPMN-PT系単結晶薄膜のSi基板上へのエピタキシャル成長
(2024年第85回応用物理学会秋季学術講演会)
身体の中から健康状態を調べるカプセル型生体内サイバネティックアバター
(第42回日本ロボット学会学術講演会(RSJ2024))

学歴 (3件)：

学位 (1件)：

経歴 (6件)：

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委員歴 (20件)：

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受賞 (14件)：

2022/12 - 科学技術・学術政策研究所 2022年「科学技術への顕著な貢献2022(ナイスステップな研究者)」
2021/01 - 日本バイオデザイン学会 Outstanding Presentation Award (第一回日本バイオデザイン学会定期学術集会))
2019/07 - 東北大学TECH OPEN 2019ビジネスプランコンテスト NEDO賞飲む体温計
2019/03 - IEEE Outstanding Paper Award (IEEE LifeTech 2019) Proof of Concept for Tablet-Shaped Ingestible Core-Body Thermometer with Gastric Acid Battery
2018/07 - 東北大学附置研究所若手アンサンブルプロジェクト優秀ポスター賞錠剤サイズの「飲む体温計」の開発と応用

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所属学会 (5件)：

日本生体医工学会 , IEEE , 応用物理学会 , 電気学会 , 日本機械学会

※　J-GLOBALの研究者情報は、researchmapの登録情報に基づき表示しています。登録・更新については、こちらをご覧ください。

吉田 慎哉