松田良信

マツダヨシノブ | Matuda Yoshinobu

所属機関・部署：
職名：准教授
ホームページURL (2件)： http://www.eee.nagasaki-u.ac.jp/labs/plasma/index.html , http://www.eee.nagasaki-u.ac.jp/~plasma/matsuda/index.html

研究分野 (4件)：薄膜、表面界面物性 , 半導体、光物性、原子物理 , プラズマ科学 , プラズマ応用科学

研究キーワード (2件)：プラズマ理工学 , Plasma Science and Technology

競争的資金等の研究課題 (31件)：

2019 - 2022 反射電界型エネルギー分析器による基板入射イオンエネルギー分布の測定
2016 - 2019 負イオンエネルギー分布計測を可能とする減速電界エネルギー分析器の開発
2012 - 2015 炭化水素プラズマ中の高次ラジカル・イオン制御による機能性膜の堆積法の開発研究
2009 - 2012 次世代低環境負荷白色光源の開発
2011 - 2012 液中プラズマを用いた炭素系膜の成膜・改質反応の実時間計測による解明

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論文 (253件)：

園田, 崚人, 金堀, 洋輔, 早川, 誠一, 松田, 良信. 磁化RFEA を用いた負イオンエネルギー分布関数測定における磁気フィルタ中心磁界の最適化. 長崎大学大学院工学研究科研究報告. 2024. 54. 103. 36-43
佐藤, 智裕, 早川, 誠一, 金堀, 洋輔, 松田, 良信. アルミ添加ZnO ターゲットから放出される負荷電粒子のエネルギー分布. 長崎大学大学院工学研究科研究報告. 2024. 54. 103. 44-49
松田, 良信, 曽我, 優也, 古川, 誇哲. プラズマ中気体温度計測用レーザー分光システムの開発. 長崎大学大学院工学研究科研究報告. 2024. 54. 103. 20-27
松田, 良信, 曽我, 優也, 古川, 誇哲. 外部共振器型半導体レーザーを用いたプラズマ中気体温度計測. 長崎大学大学院工学研究科研究報告. 2024. 54. 103. 28-35
Yoshinobu Matsuda, Koki Watanabe, Shoma Uzunoe, Tomohiro Furusato. Energy distribution function of substrate incident negative ions in magnetron sputtering of metal-doped ZnO target measured by magnetized retarding field energy analyzer. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. SL. SL1021-SL1021

MISC (62件)：

小玉康太, 日巻智裕, 篠原正典, 松田良信. Nd-Fe-B/Taスパッタ膜の磁気特性評価 (プラズマパルスパワー放電合同研究会・放電,プラズマ,パルスパワー). 電気学会研究会資料. PST. 2016. 2016. 75. 19-24
坂本康平, 佐藤貴紀, 小山田俊介, 松尾直樹, 篠原正典, 松田良信. 軸外し傾斜基板を用いたAl添加ZnOのRFマグネトロンスパッタ成膜 (プラズマパルスパワー放電合同研究会・放電,プラズマ,パルスパワー). 電気学会研究会資料. PST. 2016. 2016. 75. 13-17
篠原正典, 木村康男, 庭野道夫, 松田良信, 藤山寛. シリコン表面のSi-Hの結合の赤外分光解析 (小特集シリコン系太陽電池の高効率化に向けたプラズマCVDの科学) -- (表面反応と膜成長). プラズマ・核融合学会誌. 2015. 91. 5. 329-335
吉田裕太, 丸野尚紀, 篠原正典, 松田良信, 藤山寛. 多重内部反射赤外吸収分光法による液中プラズマと自己組織化単分子膜との反応解析. 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会. 2013. 2013. 86. 91-94
篠原正典, 丸野尚紀, 谷口雄二郎, 八木翔平, 津村高成, 松田良信, 藤山寛. Si結果への水素プラズマの照射効果の赤外分光解析. 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会. 2013. 2013. 74. 9-12

書籍 (3件)：

ZnO Nanocrystals and Allied Materials
springer india 2013 ISBN:9788132211594
【最新】光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御」
技術情報協会 2013 ISBN:9784861044854
メタルスパッタリングプラズマの高度化とその最新動向
電気学会メタルスパッタプラズマの高度化調査専門委員会編 2009

講演・口頭発表等 (100件)：

波長可変半導体レーザー吸収分光によるホロー陰極放電中気体温度計測
(2024年第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
磁化反射電界型エネルギー分析器を用いたマグネトロンスパッタリング中のイオンエネルギー分布関数測定における注意事項
(2024年第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
波長可変半導体レーザーを用いたホロー陰極放電中の吸収分光計測
(プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第27回支部大会 2023)
基板入射イオンエネルギー分布関数のマグネトロンターゲットからの距離依存性
(プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第27回支部大会 2023)
磁化反射電界型エネルギー分析器のスパッタ粒子汚染対策
(プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第27回支部大会 2023)

Works (4件)：

次世代低環境負荷白色光源の開発
2009 - 2012
金属添加酸化亜鉛透明導電膜スパッタ成膜過程におけるプラズマ支援効果
2008 - 2011
誘導結合プラズマ支援スパッタ法による透明導電性酸化亜鉛薄膜の作成
2005 - 2008
可能性試験「レーザ光を用いた透過光方式による血液中の炭酸ガス濃度の測定」
2004 - 2005

学歴 (4件)：

- 1987 九州大学総合理工学研究科エネルギー変換工学
- 1987 九州大学
- 1982 京都大学理学部物理学
- 1982 京都大学

学位 (1件)：

工学博士 (九州大学)

経歴 (12件)：

2007/04 - 現在長崎大学大学院工学研究科准教授
1990 - 2006 長崎大学助教授
1990 - 2006 Associate Professor,Nagasaki University
2006 - 長崎大学工学部電気情報工学講座准教授
2006 - Associate Professor,Electrical and Electronic ,Faculty of Engineering,Nagasaki University

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委員歴 (21件)：

2022/04 - 現在応用物理学会九州支部役員
2014/04 - 現在プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口地区支部役員
2017/04 - 2018/03 2017年度第33回九州山口プラズマ研究会幹事
2015/04 - 2017/03 プラズマ・核融合学会代議員
2016/05 - 2016/12 2016年度応用物理学会九州支部講演会現地実行委員会委員(受付担当)

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受賞 (10件)：

2005 - 電気学会優秀論文発表賞
2005 - IEEJ Excellent Presentation Award
2004 - 応用物理学会九州支部講演奨励賞
2003 - 電気学会論文発表賞B
2000 - 応用物理学会九州支部講演奨励賞

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所属学会 (10件)：

プラズマ・核融合学会 , 電気学会 , 応用物理学会 , 日本物理学会 , The Japan Society of Plasma Science and Nuclear Fusion Research , Institute of Electrical Engineers of Japan , The Physical Society of Japan , The Japan Society of Applied Physics , 日本分光学会 , Spectroscopical Society of Japan

※　J-GLOBALの研究者情報は、researchmapの登録情報に基づき表示しています。登録・更新については、こちらをご覧ください。

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