研究者
J-GLOBAL ID：200901002087849474   更新日: 2022年09月11日

川田 博昭

カワタ ヒロアキ | Kawata Hiroaki
所属機関・部署：
大阪府立大学 大学院工学研究科 電子・数物系専攻

大阪府立大学 大学院工学研究科 電子・数物系専攻 について


職名： 助教授
研究分野 (3件)： 半導体、光物性、原子物理 ,  ナノマイクロシステム ,  ナノ材料科学
研究キーワード (4件)： 微細加工 ,  高周波プラズマ ,  Micro fabrication ,  RF plasma
競争的資金等の研究課題 (8件)：
  • 付着法による簡便なマイクロマシン作製プロセスの開発
  • Deepエッチング技術の開発
  • マイクロマシンに関する基礎的研究
  • 微細加工に関する基礎的研究
  • RF放電の基礎的研究
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MISC (46件)：
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学歴 (4件)：
  • - 1983 大阪府立大学 工学研究科 電子工学
  • - 1983 大阪府立大学
  • - 1977 大阪府立大学 工学部 電子工学
  • - 1977 大阪府立大学
学位 (1件)：
  • 工学博士
所属学会 (3件)：
日本真空協会 ,  電気学会 ,  応用物理学会
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