研究者
J-GLOBAL ID:200901002137428009   更新日: 2024年09月24日

明田川 正人

アケタガワ マサト | Aketagawa Masato
所属機関・部署:
職名: 教授
ホームページURL (1件): http://mcweb.nagaokaut.ac.jp/~picotech/
研究分野 (1件): 加工学、生産工学
研究キーワード (4件): ラージスケールディメンション ,  ナノピコ計測制御 ,  光計測制御 ,  精密計測制御
競争的資金等の研究課題 (43件):
  • 2020 - 2023 超高分解変位計測・駆動システムによる空気中でのピコメートル位置決め制御
  • 2019 - 2022 パルス列間隔長を用いた実時間高精度光ゲージの開発
  • 2017 - 2020 多色周波数安定化LDと高速カメラによる絶対面形状・高速面内変位計測法の開発
  • 2017 - 2019 計測要求に能動的なインライン絶対測長器の開発
  • 2015 - 2017 正弦波周波数変調によるヨウ素安定化LDと超高分解能超高速干渉測長計の開発
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論文 (119件):
  • 樋口 雅人, 片桐 且成, 中川 盛太, 佐藤 拓, 明田川 正人. 正弦波位相変調干渉計の帯域制限のない復調法の開発(ノイズフロア・追従速度・分解能の評価). 精密工学会誌. 2024. 90. 1. 153-158
  • Dong Wei, Taiga Fujiyama, Masato Aketagawa. High-resolution demodulation of interference envelope peak at arbitrary positions by warped discrete Fourier transform. Results in Optics. 2022. 6. 100218-100218
  • Masato Higuchi, Dong Wei, Masato Aketagawa. Displacement measuring interferometer for sub-nano meter resolution. Measurement: Sensors. 2021. 18. 100336-100336
  • Dong Wei, Yusuke Nagata, Motohisa Sano, Masato Aketagawa. A scanner error discriminator based on short-time Fourier transform in pulse train interferometry. Optics Communications. 2021. 488
  • Dong Wei, Yusuke Nagata, Motohisa Sano, Masato Aketagawa. Cluster analysis based fringe-activity range detector. Optics Communications. 2021. 483
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MISC (178件):
  • 高野 悟, 高田 侑慶, 阿部 聖大, 山田 洋平, 安原 寿規, 明田川 正人. 真直度測定機におけるディープラーニングを用いた補償方法の開発-ワーキングディスタンス変化への対応. 精密工学会学術講演会講演論文集. 2023. 2023A. 484-485
  • 佐藤 拓, 樋口 雅人, 長岡 樹, 明田川 正人. 正弦波位相変調干渉計における新しい二次元面内変位復調法の提案. 精密工学会学術講演会講演論文集. 2023. 2023A. 520-521
  • 竹岡 響, 高野 悟, 堀江 光司, 明田川 正人, 山田 洋平, 安原 寿規. 真直度測定機におけるディープラーニングを用いた補償方法の開発と教師データ取得装置の試作. 精密工学会学術講演会講演論文集. 2023. 2023S. 390-391
  • 坂井 亮太, 飯尾 和司, 萩ノ谷 悠斗, 明田川 正人. 結晶格子スケールの格子間隔以下補間法の実験的検証と応用. 精密工学会学術講演会講演論文集. 2023. 2023S. 354-355
  • 武政 昇弥, 樋口 雅人, 櫻井 文仁, 明田川 正人. 正弦波位相変調干渉計を用いたインプロセス計測手法の開発. 精密工学会学術講演会講演論文集. 2023. 2023S. 379-379
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書籍 (1件):
  • 実用精密位置決め技術事典
    産業技術サービスセンター 2008 ISBN:9784915957499
講演・口頭発表等 (64件):
  • Displacement measurement using I2 frequency stabilized laser diode based on sinusoidal phase/frequency modulation
    (LAMDAMAP2017 2017)
  • 正弦波周波数変調による半導体レーザの周波数安定化と変位計測干渉計の開発
    (光計測シンポジウム2016 2016)
  • Accurate displacement measurement using I2 frequency stabilized laser diode based on sinusoidal frequency modulation
    (EOSAM2016 2016)
  • スピンドル誤差運動測定装置の開発 4,000rpm 時の誤差運動
    (2016年度精密工学会春季大会学術講演会 2016)
  • Concurrent measurement method of spindle error motions using concentric circle grating and frequency modulation interferometers
    (ISEEE2015 2015)
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学歴 (2件):
  • - 1985 東京工業大学 総合理工学研究科 エネルギー科学専攻修士課程
  • - 1983 東京工業大学 理学部 応用物理学科
学位 (2件):
  • 博士(工学) (長岡技術科学大学)
  • 理学修士 (東京工業大学)
経歴 (5件):
  • 2011/04/01 - 現在 長岡技術科学大学 機械系 教授
  • 2007/04/01 - 2011/03/31 長岡技術科学大学 准教授
  • 1999/01/01 - 2007/03/31 長岡技術科学大学 助教授
  • 1991/06/01 - 1998/12/31 長岡技術科学大学 助手
  • 1985/04/01 - 1990/12/31 キャノン株式会社 光学機器事業部・半導体機器開発センター・研究員
受賞 (8件):
  • 2017/11/15 - Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Best Paper Award
  • 2013/11/15 - Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Best Paper Award
  • 2012/11/01 - 新潟日報社 第65回新潟日報文化賞(学術部門) サブナノメートル・ピコメートル計測制御
  • 2011/03/15 - 精密工学会 精密工学会論文賞 周波数可変ダイオードレーザを光源とする位相変調ホモダイン変位計測干渉計
  • 2009/11/15 - Asian Society for Precision Engineering and Nanotechnology Best Paper Award
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所属学会 (5件):
日本光学会 ,  アメリカ光学会(Optical Society of America) ,  応用物理学会 ,  American Society for Precision Engineering ,  精密工学会
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