研究者
J-GLOBAL ID:200901004983033230
更新日: 2022年09月15日
田中 恒久
タナカ ツネヒサ | Tanaka Tsunehisa
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所属機関・部署:
大阪府立産業技術総合研究所 情報電子部
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職名:
主任研究員
ホームページURL (1件):
http://tri-osaka.jp/
研究分野 (2件):
電子デバイス、電子機器
, 電気電子材料工学
研究キーワード (11件):
電子回路設計
, 真空応用
, 薄膜
, 半導体プロセス
, MEMS
, センサ
, electronic circuit design
, semiconductor processing
, micromachining
, sensor
, thin film
競争的資金等の研究課題 (2件):
圧電型超音波センサの開発
Study on micromachining and its application to sensors Study on designing of Si processes and analog IC Study and development of single unit IC ultrasonic sensors
MISC (5件):
田中恒久, 李 昇穆, 宇野真由美, 井上幸二, 青柳誠司, 山下 馨, 奥山雅則. フッ素系樹脂を用いた超音波マイクロアレイセンサの特性改善. 電気学会論文誌E. 2007. 127. 1. 7-13
田中恒久, 莫 要武, 土谷 明, 井上幸二, 有田滋, 鈴木義彦, 山下 馨, 奥山雅則. 超音波マイクロアレイセンサ用加算機能付きBBDの開発. 電気学会論文誌E. 2005. 125. 4. 188-195
T.Tanaka, X.-S.Li, A.Teeramongkonrasmee, Y.Suzuki. Structural and ferroelectrical properties of (111)oriented lead zirconate titanate thick films for micro-ultrasonic sensors. Sensors and Materials. 2002. 14. 7. 373-385
T.Tanaka, X.-S.Li, A.Teeramongkonrasmee, Y.Suzuki. Structural and ferroelectrical properties of (111)oriented lead zirconate titanate thick films for micro-ultrasonic sensors. Sensors and Materials. 2002. 14. 7. 373-385
田中恒久, 井上幸二, 鈴木義彦. 異方性エッチング液による薄膜の耐性. 真空. 1998. 41. 3. 258-261
特許 (8件):
圧電装置用積層体、圧電装置用積層体の製造方法、および圧電装置の製造方法
音波センサ及び遅延回路を備えた半導体装置及び 視覚障害者用杖及び3次元計測方法
超音波センサ素子及び超音波アレイセンサ装置の共振周波数の調整方法及び調整装置
圧電式音波センサ
超音波センサ及びその製造方法
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Works (1件):
圧電型超音波MEMSセンサの開発
学位 (1件):
博士(工学)
委員歴 (2件):
センシング技術応用研究会 MEMS技術分科会 幹事
センシング技術応用研究会 幹事
受賞 (2件):
2002 - 平成14年電気学会全国大会 優秀論文発表賞
1999 - 平成11年電気関係学会関西支部連合大会 奨励賞
所属学会 (4件):
センシング技術応用研究会 MEMS技術分科会
, センシング技術応用研究会
, 電気学会
, The insutitute of Electrical Engineers of Japan
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