研究者
J-GLOBAL ID：200901008377415913   更新日: 2024年04月16日

實方 真臣

サネカタ マサオミ | Sanekata Masaomi
所属機関・部署：
東京工芸大学 工学部工学科

東京工芸大学 工学部工学科 について


職名： 准教授
ホームページURL (1件)： http://www.gen.t-kougei.ac.jp/physics/
研究分野 (4件)： 応用物理一般 ,  プラズマ応用科学 ,  プラズマ応用科学 ,  ナノ材料科学
研究キーワード (4件)： 高出力パルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS) ,  プラスマ分光診断 ,  質量分析法 ,  表面プラズモン
競争的資金等の研究課題 (8件)：
  • 2021 - 2025 高出力パルスマグネトロンスパッタリングの成膜領域における新規イオン密度分光計測法
  • 2023 - 2024 パンチ・ダイ向け厚膜クロム系硬質皮膜の研究開発
  • 2022 - 2023 新製品「金型加工用不等分割ボールエンドミル」の開発と販路拡大
  • 2019 - 2020 高精度高能率穴加工を実現する魔法角®リーマの設計開発
  • 2017 - 2019 精密膜厚制御PVD法による超高精度穴加工工具の研究開発
全件表示
論文 (25件)：
  • 實方 真臣. 飛行時間質量分析計による高出力パルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS)の多成分リアルタイム分析法の開発と展望. SPUTTERING & PLASMA PROCESSES(日本表面真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会 定期研究会講演予稿集). 2023. 38. 1. 11-19
  • Eisuke Yokoyama, Masaomi Sanekata, Nobuo Nishimiya, Masahide Tona, Hiroaki Yamamoto, Keizo Tsukamoto, Kiyokazu Fuke, Keijiro Ohshimo, Fuminori Misaizu. Optical emission spectroscopy in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. SL. SL1008-(7 pages)
  • M. Sanekata, Y. Nakagomi, M. Hirayama, H. Nishida, N. Nishimiya, M. Tona, H. Yamamoto, K. Tsukamoto, K. Fuke, K. Ohshimo, et al. Time-of-flight mass spectrometry diagnostics in deep oscillation magnetron sputtering (DOMS) of titanium. Journal of Applied Physics. 2022. 131. 24. 243301-(7 pages)
  • 實方真臣, 塚本恵三, 美齊津文典. 高出力パルスマグネトロンスパッタリングにおけるリフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いたプラズマ診断法の開発. 日本質量分析学会誌. 2022. 70. 1. 30-35
  • Masaomi Sanekata, Hiroshi Nishida, Yuki Nakagomi, Yoshihiro Hirai, Nobuo Nishimiya, Masahide Tona, Naoyuki Hirata, Hiroaki Yamamoto, Keizo Tsukamoto, Keijiro Ohshimo, et al. Dependence of Optical Emission Spectra on Argon Gas Pressure during Modulated Pulsed Power Magnetron Sputtering (MPPMS). Plasma. 2021. 4. 2. 269-280
もっと見る
特許 (1件)：
講演・口頭発表等 (29件)：
  • (レーザー誘起蛍光法を用いた)高出力マグネトロンスパッタリング(HPPMS)のプラズマ診断
    (第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
  • 深振動マグネトロンスパッタリング(DOMS)における発光遅延時間計測を用いたガス希薄化現象の解明
    (第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
  • リフレクトロン型飛行時間質量分析計を用いた深振動マグネトロンスパッタリングの多成分イオン同時計測法の開発
    (第71回応用物理学会春季学術講演会 2024)
  • 時間分解プラズマ分光計測を用いた深振動マグネトロンスパッタリングにおける発光遅延時間の解析
    (第84回応用物理学会秋季学術講演会 2023)
  • 飛行時間質量分析計による高出力パルスマグネトロンスパッタリング(HPPMS)の多成分リアルタイム分析法の開発と展望
    (日本表面真空学会スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会) 第175回定例研究会 2023)
もっと見る
学歴 (1件)：
  • - 1994 総合研究大学院大学 数物科学研究科 機能分子科学専攻
学位 (1件)：
  • 博士(理学) (総合研究大学院大学)
経歴 (7件)：
  • 2022 - 現在 東京工芸大学 工学部電気電子コース 准教授
  • 2003 - 2021 東京工芸大学 工学部電気電子コース 講師
  • 2008 - 2013 国士舘大学 理工学部 非常勤講師
  • 2001 - 2003 日本大学 客員研究員
  • 1999 - 2000 慶應義塾大学理工学部 助手
全件表示
委員歴 (1件)：
  • 2024/04 - 現在 日本表面真空学会 スパッタリングおよびプラズマプロセス技術部会(SP部会)幹事
受賞 (1件)：
  • 1999 - 第11回日本MRS学術シンポジウム奨励賞
所属学会 (7件)：
日本真空表面学会 ,  分子科学会 ,  応用物理学会 ,  日本化学会 ,  日本分光学会 ,  日本物理学会 ,  ナノ学会
※　J-GLOBALの研究者情報は、researchmapの登録情報に基づき表示しています。 登録・更新については、こちらをご覧ください。

前のページに戻る

TOP

BOTTOM