研究者
J-GLOBAL ID：200901009616399042
更新日: 2022年09月14日
多田 哲也
タダ テツヤ | Tada Tetsuya
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所属機関・部署：
独立行政法人産業技術総合研究所 ナノ電子デバイス研究センター 原子スケール計測・制御技術研究チーム
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ホームページURL (1件)：
http://www.aist.go.jp/RESEARCHERDB/cgi-bin/worker_detail.cgi?call=namae&rw_id=T47291860
研究分野 (1件)：
電子デバイス、電子機器
研究キーワード (3件)：
ナノスケール加工技術 半導体
, Semiconductors
, Nano fabrication
競争的資金等の研究課題 (1件)：
微細加工等
MISC (33件)：
Yuichi Hiratsuka, Makoto Miyata, Tetsuya Tada, Taro Q. P. Uyeda. A microrotary motor powered by bacteria. PROCEEDINGS OF THE NATIONAL ACADEMY OF SCIENCES OF THE UNITED STATES OF AMERICA. 2006. 103. 37. 13618-13623
M Nishizawa, L Bolotov, T Tada, T Kanayama. Scanning tunneling microscopy detection of individual dopant atoms on wet-prepared Si(111): H surfaces. JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY B. 2006. 24. 1. 365-369
K Kimoto, T Tada, T Kanayama. Impact of aggressively shallow source/drain extensions on device performance. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 1-REGULAR PAPERS BRIEF COMMUNICATIONS & REVIEW PAPERS. 2005. 44. 7A. 4843-4847
Poborchii, V, T Tada, T Kanayama. Giant heating of Si nanoparticles by weak laser light: Optical microspectroscopic study and application to particle modification. JOURNAL OF APPLIED PHYSICS. 2005. 97. 10. 104323-1-104323-5
Poborchii, V, T Tada, T Kanayama. Subwavelength-resolution Raman microscopy of si structures using metal-particle-topped AFM probe. JAPANESE JOURNAL OF APPLIED PHYSICS PART 2-LETTERS & EXPRESS LETTERS. 2005. 44. 1-7. L202-L204
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特許 (1件)：
微細加工方法
学位 (1件)：
Ph.D.
所属学会 (2件)：
The Physical Society of Japan
, The Japan Society of Applied Physics
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