ABDEL-FATTAH Essam

アバデルファタエッサム | Abdel-fattah Essam

所属機関・部署：
職名：大学院生(博士課程)

研究分野 (1件)：薄膜、表面界面物性

研究キーワード (2件)：プラズマプロセス , plasma processing

競争的資金等の研究課題 (2件)：

MISC (9件)：

Discharge Characteristics and electron energy distribution of VHf Capacitive discharge. 2002. 1. 305
Simulation of the Corrugation effect of dielectric windwa on production of surface wave plasma. Joint Conference ESCAMPIG 16-ICRP5, Grenoble, france. 2002. 1. 305
Discharge Characteristic and electron energy distribution of VHf Capacitive discharge. ESCAMPIG 16-ICRP5, Grenoble, france. 2002. 1. 305
Simulation of the Corrugation effect of dielectric windwa on production of surface wave plasma. Joint Conference ESCAMPIG 16-ICRP5, Grenoble, france. 2002. 1. 305
Dramatic improvment of surface wave plasma performance using Corrugated dielectric plate. Japanese Journal of Applied physics. 2001. 40. L 1176

学歴 (4件)：

学位 (1件)：

所属学会 (2件)：

応用物理学会 , 電気学会

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