- 2022 - 2026 マイクロウエル架橋膜と生物小胞の融合による内容物解析基盤
- 2022 - 2025 水素と加熱触媒体を用いた2次元芳香族化合物創製とスピンデバイス応用
- 2019 - 2020 原子状水素を用いたEUV光用光学素子の表面汚染物の除去
- 2018 - 2019 原子状水素アニールによる表面汚染物除去
- 2015 - 2018 ホットメッシュ法によるグラフェンオンペンタセンの創製とその相対論的粒子の移動機構
- 2015 - 2017 ホットメッシュ法によるグラフェンオンペンタセンの創製とその相対論的粒子の移動
- 2015 - 2016 原子空孔制御による高品質多結晶Ge膜の形成
- 2012 - 2015 DNAを活性層とする電荷保持素子の研究
- 2014 - 2015 シートコンピュータ実現のための軟X線照射によるBクラスタの低温活性化
- 2013 - 2015 ペンタセン気相重合法によるグラフェンナノリボンの触媒レス生成とその素子応用
- 2013 - 2014 原子状水素アニールによる次世代太陽電池用大面積グラフェン膜の創製
- 2011 - 2012 軟X線励起による半導体中の不純物原子の低温活性化技術の開発
- 2009 - 2010 高密度AHA処理によるプラスチック基板上の結晶性Si層の形成技術の開発
- 2006 - 2008 原子状水素処理による有機薄膜トランジスタの特性向上
- 2007 - 2008 軟X線によるナノSi核形成と連続したレーザ照射による低温結晶化のダイナミクス
- 2006 - 2007 フレキシブルディスプレイ実現のための低温多結晶シリコン膜の形成
- 2006 - 2007 プラスチック基板上への電子デバイス形成技術の開発
- 2006 - 2007 原子状水素処理による有機薄膜トランジスタの特牲向上
- 2004 - 2005 原子状水素による極表面アニール法の開発
- 2001 - 2003 低温触媒CVD装置の開発
- 2001 - 2002 次世代発光ダイオード材料(鉄シリサイド薄膜)の新規堆積技術の開発に関する研究
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