研究者
J-GLOBAL ID:200901019380365490   更新日: 2024年02月01日

部家 彰

ヘヤ アキラ | Heya Akira
所属機関・部署:
職名: 准教授
ホームページURL (1件): http://www.eng.u-hyogo.ac.jp/outline/faculty/heya/index.html
研究分野 (5件): 量子ビーム科学 ,  反応工学、プロセスシステム工学 ,  複合材料、界面 ,  ナノ構造物理 ,  無機材料、物性
研究キーワード (9件): 原子状水素アニール ,  原子状水素 ,  グラフェンナノリボン ,  触媒 ,  化学気相成長 ,  グラフェン ,  2次元材料 ,  構造解析 ,  半導体薄膜
競争的資金等の研究課題 (21件):
  • 2022 - 2026 マイクロウエル架橋膜と生物小胞の融合による内容物解析基盤
  • 2022 - 2025 水素と加熱触媒体を用いた2次元芳香族化合物創製とスピンデバイス応用
  • 2019 - 2020 原子状水素を用いたEUV光用光学素子の表面汚染物の除去
  • 2018 - 2019 原子状水素アニールによる表面汚染物除去
  • 2015 - 2018 ホットメッシュ法によるグラフェンオンペンタセンの創製とその相対論的粒子の移動機構
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論文 (126件):
  • Akira Heya, Koji Sumitomo. Surface Cleaning and Modification of Oxide Films by Atomic Hydrogen Annealing. Journal of Photopolymer Science and Technology. 2022. 35. 4. 351-357
  • Akira HEYA, Akinori Fujibuchi, Masahiro Hirata, Kazuhiro KANDA, Yoshiaki Matsuo, Junichi INAMOTO, Koji Sumitomo. Effects of underlayer on reduction of graphene oxide through atomic hydrogen annealing and soft X-ray irradiation. Japanese Journal of Applied Physics. 2022. 62. SC. SC1028-SC1028
  • Ryo Yamasaki, Akira Heya, Naoto Matsuo, Koji Sumitomo. Surface Treatment of Aluminum Oxide Using Atomic Hydrogen Generated by Catalytic Reaction on Heated Tungsten. e-Journal of Surface Science and Nanotechnology. 2022. 21. 1. 46-54
  • Masahito Niibe, Yuichi Haruyama, Akira Heya, Seigo Ito. Soft X-ray Absorption/Emission Spectroscopy and Atomic Hydrogen Irradiation Effect of Ammonia Borane. e-Journal of Surface Science and Nanotechnology. 2022. 20. 4. 226-231
  • A. Heya, K. Kanda, R. Yamasaki, K. Sumitomo. Effects of Ge and Ni catalytic underlayers to nanographene synthesis from pentacene-based film via soft X-ray irradiation. Jpn. J. Appl. Phys. 2022. 61. SC1057
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MISC (55件):
  • 春山雄一, 森本大貴, 部家彰, 住友弘二, 伊藤省吾, 横田久美子, 田川雅人. 原子状水素照射による深さ方向分析. 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web). 2022. 35th
  • 門林大矢, 橋野開, 大嶋梓, 山口真澄, 部家彰, 住友弘二. Biotin-Streptavidin相互作用による膜融合の制御. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2021. 82nd
  • 土井響, 吉水寛人, 乾徳夫, 樫村吉晃, 大嶋梓, 山口真澄, 部家彰, 住友弘二. 半導体基板/脂質二分子膜界面におけるイオンリークの抑制. 電気学会研究会資料(Web). 2021. OQD-21-065-071
  • 春山雄一, 部家彰, 住友弘二, 伊藤省吾. 原子状水素を用いた固体表面クリーニングへの応用. 日本放射光学会年会・放射光科学合同シンポジウム(Web). 2021. 34th
  • 部家彰, 山田良貴, 山崎良, 神田一浩, 住友弘二. ペンタセン前駆体重合反応における軟X線照射効果. 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2021. 68th
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書籍 (8件):
  • これからの蓄・省エネルギー材料の開発における機能性付与技術
    技術情報協会 2013
  • ロールtoロール事例集~プロセス応用に向けた技術課題と対策~
    情報機構 2011
  • ディスプレイと照明の材料技術 ~液晶・プラズマ・有機EL・無機EL・LED・プロジェクター
    CMC出版 2010
  • 触媒CVD(Cat-CVD)の新展開 -ラジカルを用いる新プロセス技術-
    CMC出版 2008
  • ドライプロセスによるディスプレイ・光学部材における具体的な薄膜製造コーティング技術
    情報機構 2007
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講演・口頭発表等 (59件):
  • AlOx/GeOx/a-Ge ゲートスタック構造への原子状水素アニールの効果
    (第65回応用物理学会春季学術講演会 講演予稿集 2019)
  • DNA/Si-MOSFETの正孔,電子伝導に関する検討
    (応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018)
  • ペンタセンとNi担持Wメッシュを用いたナノカーボン膜の作製
    (応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018)
  • AlO<sub>x</sub>/GeO<sub>x</sub>/a-Geゲートスタック構造への原子状水素アニールの効果
    (応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018)
  • Ge薄膜のFLA結晶化におけるキャップ層の効果
    (応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM) 2018)
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学歴 (2件):
  • - 2000 北陸先端科学技術大学院大学 材料科学研究科 物性科学専攻
  • - 1995 鳴門教育大学 学校教育学部 自然系II(理科)専攻
学位 (1件):
  • 材料科学 (北陸先端科学技術大学院大学)
経歴 (3件):
  • 2008/04 - 現在 兵庫県立大学大学院 工学研究科 准教授
  • 2005/07 - 2008/03 兵庫県立大学大学院 工学研究科 助教
  • 2000/04 - 2005/06 石川県工業試験場 電子情報部 技師
委員歴 (5件):
  • 2017 - 現在 HWCVD プログラム委員
  • 2016 - 現在 SSDM プログラム委員
  • 2007 - 現在 Cat-CVD研究会 実行委員
  • 2006 - 現在 AMFPD プログラム委員
  • 2020/04 - 表面真空学会関西支部
所属学会 (2件):
日本表面真空学会 ,  応用物理学会
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