研究キーワード (22件):
半導体デバイス
, スパッタおよびCVD装置の設計
, シンクロトンによって加速された重粒子イオンを用いた研究
, modeling(分光エリプソメトリーのスペクトルから求めた光学パラメータの決定)
, 原子間力顕微鏡)
, 電子スピン共鳴法
, X線光電子分光法
, 他の測定(X線回折
, インピーダンスアナライザを用いた電気測定(40-30MHz)
, 誘電率の測定)
, 一定光電流法
, 電気的測定(光および暗電気伝導[フェムトからピコオーダ・アンペアの領域]
, 光熱偏向分光法)
, 極低温でのフォト・ルミネッセンスの測定
, FTーIR
, 光透過率スペクトル法
, ラマン分光
, 光学測定(分光エリプソメトリー
, アセチレンガスを用いたカーボンナノチューブ/カーボンマイクロコイルの作製
, プラズマ製膜
, 薄膜作製(特にカーボン系材料)
, thin film