研究者
J-GLOBAL ID:200901028547367316   更新日: 2024年08月04日

齋藤 洋司

サイトウ ヨウジ | Saito Yoji
所属機関・部署:
職名: 教授
ホームページURL (1件): http://www.sd.seikei.ac.jp/lab/device/
研究分野 (1件): 電気電子材料工学
研究キーワード (7件): 太陽電池 ,  センサ ,  薄膜 ,  エッチング ,  集積回路プロセス ,  Thin Films ,  Fabrication process of Integraded Circuits
競争的資金等の研究課題 (16件):
  • 2008 - 2013 人と環境に優しい統合化された社会システム研究基盤整備
  • 2005 - 2008 多結晶半導体太陽電池におけるプラズマレスドライテクスチャー化プロセスの研究
  • 2002 - 2005 マイクロシステム作製におけるプラズマレスドライエッチングプロセスの研究
  • 1995 - 1995 励起窒素酸素によるシリコン絶縁膜形成プロセスの研究
  • 1993 - 1994 低エネルギー水素による半導体表面パッシベーションの研究
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論文 (71件):
  • Takahiro Himuro, Shota Tsukamoto, Yoji Saito. Fabrication of a Deoxyribonuclease Sensor Based on the Electrical Characteristics of DNA Molecules. ACS Omega. 2022. 7. 27. 23549-23554
  • Takahiro Himuro, Shota Tsukamoto, Yoji Saito. Fabrication of a Deoxyribonuclease Sensor Based on the Electrical Characteristics of DNA Molecules. ACS OMEGA. 2022
  • Takahiro Himuro, Yoji Saito. Assessment of Deoxyribonuclease Activity Using DNA Molecules Immobilized Between Microelectrodes. JOURNAL OF ELECTRONIC MATERIALS. 2021. 50. 2. 537-542
  • T. Himuro, S. Tsukamoto, Y. Saito. Electrical evaluation of DNA stretched and immobilized between triangular-shaped electrodes. J. Electronic Materials. 2019. 48. 3. 1562-1567
  • Takahiro Himuro, Shota Tsukamoto, Yoji Saito. Electrical detection of deoxyribonuclease using DNA molecules immobilized between microelectrodes. 23rd International Conference on Miniaturized Systems for Chemistry and Life Sciences, MicroTAS 2019. 2019. 1234-1235
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MISC (23件):
  • 宮川雄, 中村翔太郎, 氷室貴大, 齋藤洋司. ゾル-ゲル法により作製したタングステン・チタンドープ酸化バナジウム膜の電気的特性. 材料の科学と工学. 2022. 59. 3. 94-97
  • 福田陽樹, 中島義治, 氷室貴大, 渡邊良祐, 齋藤洋司. スピンコート法で形成したアルミナ薄膜のSi表面パッシベーション効果に関する研究. 日本材料科学会学術講演大会講演予稿集. 2020. 2020
  • 中島義治, 氷室貴大, 齋藤洋司, 渡邊良祐. スピンコート法で形成したアルミナ膜のシリコン表面パッシベーション効果に関する研究. 応用物理学会秋季学術講演会講演予稿集(CD-ROM). 2019. 80th
  • 中島義治, 氷室貴大, 渡邊良祐, 齋藤洋司. スピンコート法で形成したアルミナ膜のシリコン表面パッシベーション効果に関する研究. 日本材料科学会学術講演大会講演予稿集. 2019. 2019
  • 齋藤 洋司. シリコン太陽電池の新規表面加工技術により発現する光学および電気的特性. 材料の科学と工学. 2015. 52. 2. 2-5
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特許 (2件):
  • ゲート絶縁膜の形成方法
  • 酸化膜のドライエッチング方法
書籍 (15件):
  • 精密加工と微細構造の形成技術-材料・プロセスの最適化、トラブル対策-
    技術情報協会 2013
  • 光学薄膜の最適設計・成膜技術と膜厚・膜質・光学特性の制御
    技術情報協会 2013
  • 太陽電池 と 部材 の 開発・製造技術 ~構造・プロセスから見る、耐久性向上・高効率化を目指した各種事例~
    情報機構 2010
  • 太陽電池 革新的技術全集 2009版
    技術情報協会 2009
  • ガラスの加工技術と製品応用
    情報機構 2009
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講演・口頭発表等 (14件):
  • Development of deoxyribonuclease sensor using DNA molecules immobilized between microelectrodes
    (MicroTAS 2018 2018)
  • A study on fabrication process of back contact solar cells using p-type silicon substrates
    (Int. Conf. on Electrical Engineering 2016 2016)
  • Preparation of multi-antireflection films on silicon surface by spin coating method
    (Int. Conf. on Electrical Engineering 2016 2016)
  • Dry texturing process for crystalline silicon solar cells
    (Abstract Japan-Korea International Symposium on Materials Science and Technology 2015 2015)
  • Optical properties and morphologies of spin-coated anti-reflection films on textured silicon solar cells
    (Proc. Int. Conf. on Elec. Eng. 2015 2015)
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Works (6件):
  • 大気圧プラズマを用いたガラス基板表面の濡れ性改善
    2003 -
  • Research on the cleaning of glass substrates using atmospheric plasma
    2003 -
  • ガラス状炭素のエッチング耐性
    2001 -
  • Research on glass-like carbon
    2001 -
  • 地球温暖化対策クリーニングガスの探索
    1998 - 2000
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学歴 (5件):
  • 1984 - 1987 慶應義塾大学大学院博士課程 工学研究科 電気工学専攻
  • - 1987 慶應義塾大学
  • 1982 - 1984 慶応義塾大学大学院修士課程 工学研究科 電気工学専攻
  • 1978 - 1982 慶應義塾大学 工学部 電気工学科
  • - 1982 慶應義塾大学
学位 (2件):
  • 工学博士 (慶應義塾大学)
  • 工学修士 (慶應義塾大学)
経歴 (12件):
  • 2022/04 - 現在 成蹊大学 理工学部理工学科(兼担) 教授
  • 2012/04 - 現在 成蹊大学 理工学部システムデザイン学科 教授
  • 2005/04 - 2018/03 成蹊大学 理工学部エレクトロメカニクス学科(併任) 教授
  • 2001/04 - 2010/03 成蹊大学 工学部電気電子工学科 教授
  • 1993/04 - 2001/03 成蹊大学 工学部電気電子工学科 助教授
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委員歴 (4件):
  • 2003/06 - 現在 日本材料科学会 理事
  • 2012/11 - 2013/04 武蔵野市 新エネルギー活用検討委員会委員長
  • 2005/07 - 2009/06 電気学会 ユビキタス志向ナノマテリアル・プロセス技術調査専門委員会
  • 2003/04 - 2008/03 日本材料科学会 第2企画委員会委員長
受賞 (3件):
  • 2020/05 - (一社)日本材料科学会 日本材料科学会 功績賞
  • 1989 - 電子情報通信学会東海支部創立50周年記念奨励賞
  • 日本材料科学会 日本材料科学会功労賞
所属学会 (3件):
日本材料科学会 ,  応用物理学会 ,  電子情報通信学会
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