研究者
J-GLOBAL ID:200901032847091743   更新日: 2022年08月04日

牟田 浩司

ムタ ヒロシ | Muta Hiroshi
所属機関・部署:
職名: 教授
研究分野 (1件): プラズマ応用科学
研究キーワード (6件): 超高速DLC成膜 ,  電磁界シミュレーション ,  VHFプラズマ ,  薄膜シリコン太陽電池 ,  プラズマCVD ,  ECRプラズマ
競争的資金等の研究課題 (5件):
  • 2013 - 2016 超音速噴流を用いたVHFプラズマによる高速大面積微結晶シリコン製膜法の開発
  • 2008 - 2011 狭ギャップ高圧VHFプラズマを用いた微結晶シリコン薄膜作製
  • 2007 - 2010 中性粒子風と渦の極性反転
  • 2002 - 2003 低温プラズマ表面修飾技術による酸化チタン微粒子の環境浄化機能の改善に関する研究
  • 1998 - 2000 ECRプラズマ中の電子速度分布関数と成膜の再現性に関する研究
論文 (59件):
MISC (7件):
  • 納土 亮, 松永 卓真, 井関 将仁, 牟田 浩司, 西田 哲, 栗林 志頭眞. B132 非平衡プラズマジェットCVDに於けるSi結晶化度制御法の実験的研究(一般講演(3)). 熱工学コンファレンス講演論文集. 2013. 2013. 57-58
  • 松岡 一樹, 岡本 直樹, 安藤 大輔, 中村 次郎, 西田 哲, 牟田 浩司, 栗林 志頭眞. G212 非平衡プラズマCVDに於けるガス流速がSi成膜速度に及ぼす影響の解析(OS-17: プラズマ革新技術の展開(1)). 熱工学コンファレンス講演論文集. 2012. 2012. 435-436
  • 安藤 大輔, 中村 次郎, 恒川 佳寛, 西田 哲, 牟田 浩司, 栗林 志頭眞, 竹内 良昭, 山内 康弘, 高塚 汎. 超音速不足噴流を用いた非平衡プラズマCVDによるα/μc-Si:H膜成長. 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会. 2010. 2010. 48. 5-10
  • 水野 健太, 松岡 正典, 牟田 浩司, 西田 哲, 栗林 志頭眞, 竹内 良昭, 山内 康弘, 高塚 汎. バラン給電法によるVHFプラズマの特性. 電気学会研究会資料. PST, プラズマ研究会. 2010. 2010. 48. 29-32
  • 牟田 浩司, 古賀 麻由子, 河合 良信. 29pA06P Ar/N_2ECRプラズマ中のイオン温度特性解析(プラズマ基礎・応用). プラズマ・核融合学会年会予稿集. 2002. 19. 205-205
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書籍 (1件):
  • プラズマCVDにおける成膜条件の最適化に向けた反応機構の理解とプロセス制御・成膜事例
    サイエンス&テクノロジー 2018
学位 (1件):
  • 博士(工学) (九州大学)
経歴 (1件):
  • 2015/04 - 現在 近畿大学産業理工学部 電気電子工学科 教授
委員歴 (1件):
  • 2002 - プラズマ・核融合学会 広報委員
受賞 (1件):
  • 1986 - 電気関係学会九州支部連合大会発表賞
所属学会 (3件):
電気学会 ,  プラズマ・核融合学会 ,  応用物理学会
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