研究者
J-GLOBAL ID:200901032956542496   更新日: 2011年12月22日

黒河内 靖子

クロゴウチ ヤスコ | Kurogouchi Yasuko
所属機関・部署:
職名: 主任研究員
研究分野 (1件): 電子デバイス、電子機器
研究キーワード (4件): 走査型電子顕微鏡 ,  金属薄膜 ,  Scanning electron microscopy ,  Metallic thin film
競争的資金等の研究課題 (2件):
  • 2005 - MEMS技術による運動センサの開発
  • 2002 - 2004 超精密マイクロ加工機による回折格子作製技術の開発と形状評価
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