研究者
J-GLOBAL ID:200901037602526746
更新日: 2024年10月23日
菅原 広剛
スガワラ ヒロタケ | Sugawara Hirotake
所属機関・部署:
職名:
准教授
ホームページURL (2件):
http://researchers.general.hokudai.ac.jp/profile/ja.VBR3znItApp9SpgEbq6Hqg==.html
,
http://mars-ei.eng.hokudai.ac.jp/~sgwr/
研究分野 (2件):
プラズマ科学
, 電気電子材料工学
研究キーワード (8件):
電子スオーム
, ボルツマン方程式
, 磁化プラズマ
, 電子輸送
, モンテカルロシミュレーション
, プラズマエレクトロニクス
, Electric Discharges
, Plasma Electronics
競争的資金等の研究課題 (24件):
- 2024 - 2027 誘導結合磁化プラズマ高周波駆動による部分共鳴電子加熱増強の計算機シミュレーション
- 2019 - 2022 誘導結合磁化プラズマ中の電磁界配位由来非対称指向性電子輸送と部分共鳴の計算機解析
- 2016 - 2019 磁界分界面がプラズマ中電子に及ぼすエネルギー選択的シャッタ・フィルタ効果の解析
- 2013 - 2016 対向発散磁界を印加した誘導結合型プロセスプラズマ中の反応性粒子流の計算機解析
- 2010 - 2015 量子ドットスピンレーザー
- 2010 - 2012 低気圧高密度磁気中性線環状放電プロセスプラズマのモデリングと動的制御特性解析
- 2007 - 2009 ガス導入プラズマ電力シーケンス制御による低誘電率フッ化炭素絶縁膜異種構造積層堆積
- 2007 - 2008 化学活性種の高精度供給による単層カーボンナノチューブの金属/半導体特性選択成長
- 2005 - 2007 低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積a-C:F膜による機器絶縁の軽量化と耐電圧向上
- 2004 - 2006 衝撃電界重畳高周波プラズマによるフッ化炭素プロセス排ガス分解除害効率の計算機解析
- 2002 - 2003 電力機器用絶縁気体混合相乗効果の微視的定量的計算機解析
- 2001 - 2003 低誘電率・高絶縁耐力プラズマ堆積C_xF_y膜を用いたSF_6代替絶縁方式の開発
- 2000 - 2001 高耐力フルオロカーボン絶縁被覆のプラズマプロセスによる形成と損傷修復に関する研究
- 1998 - 1999 衝撃電解重畳法によるフロン分解の大体積化および選択的分解反応促進に関する基礎研究
- 1997 - 1999 バリア放電/真空紫外光の相乗効果を用いた汚染ガス分解装置開発の基礎研究
- 1995 - 1996 バリア放電エキシマランプの最適化に関する研究
- 1995 - 1995 地球環境問題を考慮した高電圧電力機器絶縁に関する基礎的研究
- 1994 - 1994 プラズマプロセスによるフリーラジカル発生、反応、輸送と膜堆積過程の統合的研究
- 1993 - 1994 高電圧電力機器絶縁に関する基礎的研究
- 1993 - 1993 コロナ放電による窒素酸化物公害ガス分解のシミュレーション
- 1993 - 1993 プラズマプロセスによるフリーラジカル発生、反応、輸送と膜堆積過程の統合的研究
- 1992 - 1993 窒素酸化物のLID濃縮と放電分解に関する基礎研究
- 1992 - 1992 微粉体誘電体による気体(SF_6、空気)の絶縁耐力上昇機構に関する研究
- Modelling and Simulation of Weakly Ionized Plasmas
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論文 (80件):
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Toshiaki Makabe, Hirotake Sugawara. Historical development of electron swarm physics based on the Boltzmann equation towards in-depth understanding of a low-temperature collisional plasma. Plasma Sources Science and Technology. 2024. 33. 9. 093001-093001
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Luca Vialetto, Hirotake Sugawara, Savino Longo. Particle Propagation and Electron Transport in Gases. Plasma. 2024. 7. 1. 121-145
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小林 司,菅原 広剛,池田 圭. An improved calculation scheme of electron flow in propagator method for solving the Boltzmann equation. 2023. 62. SL. SL1020-1-SL1020-10
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Ryota Okazaki, Hirotake Sugawara. Analysis of electron heating due to partial resonance in an inductively coupled plasma under confronting divergent magnetic fields. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. SL. SL1003-1-SL1003-8
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奥山由, 安沢友花, 菅原広剛. 大気圧O2中の微量H2Oによるイオン移動度及びイオン・分子反応への影響. 2023. 216. 1
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MISC (59件):
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Y. Suda, A. Ozeki, A. Okita, J. Nakamura, A. Oda, Y. Sakai, H. Sugawara, S. Oke, H. Takikawa. Role of aluminum oxide support layer in growth of carbon nanotubes by plasma-enhanced chemical vapor deposition. Industrial Application of Plasma Process. 2010. 3. 41-52
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沖田 篤士, 須田 善行, 菅原 広剛, 酒井 洋輔, 小田 昭紀, 中村 潤児. アルコールを用いたプラズマ支援化学気相堆積法によるカーボンナノチューブ生成. 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会. 2008. 2008. 37. 43-47
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森 直樹, 菅原 広剛, 荒木田 大嗣, 江口 礼良, 須田 善行, 酒井 洋輔. モンテカルロシミュレーションによる高周波CF_4プラズマ中電子エネルギー分布周期変化の圧力依存性解析. 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会. 2008. 2008. 37. 7-12
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荒木田 大嗣, 江口 礼良, 森 直樹, 菅原 広剛, 酒井 洋輔, 須田 善行. 低気圧下衝撃電界電子加速によるCF_4解離反応促進のモンテカルロシミュレーション. 電気学会研究会資料. ED, 放電研究会. 2008. 2008. 37. 1-5
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Yoshiyuki Suda, Junichi Takayama, Takeshi Saito, Atsushi Okita, Junji Nakamura, Yosuke Sakai, Hirotake Sugawara. Growth Promotion and Etching of Carbon Nanotubes by Carbon Dioxide in Chemical Vapor Deposition using Methane Gas. Materials Research Society Symposium Proceedings. 2008. 1057-II05-15 (6 pages)
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書籍 (3件):
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電気学会技術報告第1488号「放電・プラズマ気相シミュレーション技法」
社団法人電気学会 2020
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電気学会技術報告第1185号「放電基礎パラメータと放電応用技術の最前線」
社団法人電気学会 2010
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電気学会技術報告第1061号「窒素の放電プラズマが見せる多様性と最新応用」
社団法人電気学会 2006
講演・口頭発表等 (24件):
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Electron Energy Gain Mechanisms near Chamber Wall in Inductively Coupled Magnetized Plasmas under Different Gas Pressures
(The 11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology 2019)
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Vector loci of average electron velocity in gases under ac electric and dc magnetic fields
(The 11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology 2019)
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Investigation of mobility spectra obtained by mobility measurement and simulation in different-purity O2 gases
(The 11th Asia-Pacific International Symposium on the Basics and Applications of Plasma Technology 2019)
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Response of Average Electron Velocity Vector under AC Electric and DC Magnetic Fields in a Constant-Collision-Frequency Model
(Proc. 72nd Annual Gaseous Electronics Conference 2019)
-
Quantification of electron confinement effect under confronting divergent magnetic fields considering mutual electron transfer across separatrix
(Proc. XXXIV International Conference on Phenomena in Ionized Gases, 10th International Conference on Reactive Plasmas, 37th Symposium on Plasma Processing, and 32nd Symposium on Plasma Science for Materials 2019)
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学歴 (4件):
- - 1992 北海道大学 工学研究科 電気工学専攻
- - 1992 北海道大学
- - 1990 北海道大学 工学部 電気工学科
- - 1990 北海道大学
学位 (2件):
- 博士(工学) (北海道大学)
- 修士(工学) (北海道大学)
経歴 (12件):
- 2004 - 2007 北海道大学大学院情報科学研究科情報エレクトロニクス専攻集積システム講座集積プロセス学研究室 助教授
- 2004 - 2007 Associate Professor
- 2007 - - 北海道大学大学院情報科学研究科情報エレクトロニクス専攻集積システム講座集積プロセス学研究室 准教授
- 2007 - - Associate Professor
- 1998 - 2004 北海道大学大学院工学研究科電子情報工学専攻集積材料デバイス工学講座集積電子材料工学分野 助教授
- 1998 - 2004 Associate Professor,Associate Professor, Hokkaido University
- 1997 - 1998 北海道大学大学院工学研究科電子情報工学専攻集積材料デバイス工学講座集積電子材料工学分野 助手
- 1997 - 1998 Research Associate
- 1995 - 1997 北海道大学工学部電子情報工学専攻集積材料デバイス工学講座集積電子材料工学分野 助手
- 1995 - 1997 Research Associate
- 1992 - 1995 北海道大学工学部電気工学科電気応用工学講座 助手
- 1992 - 1995 Research Associate
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委員歴 (21件):
- 2018/05 - 現在 電気学会 編修専門第1部会委員
- 2018/01 - 現在 電気学会 プラズマ・パルスパワー技術委員会1号委員
- 2012/04 - 2017/12 社団法人電気学会 プラズマ技術委員会1号委員
- 2014/10 - 2017/09 電気学会 放電技術委員会2号委員
- 2014/10 - 2017/09 電気学会 放電・プラズマ気相シミュレーション技法調査専門委員会委員長
- 2014/08 - 2016/07 日本学術振興会 特別研究員等審査会専門委員
- 2011/04 - 2014/03 社団法人電気学会 原子・分子衝突断面積および放電基礎データ調査専門委員会幹事
- 2009 - 2011 社団法人電気学会 北海道支部協議員
- 2008 - 2010 社団法人電気学会 2号代議員
- 2010 - 日本工学教育協会 第59回工学・工業教育研究講演会実行委員
- 2007 - 2009 社団法人電気学会 北海道支部総務企画幹事
- 2006 - 2009 社団法人電気学会 放電技術委員会雷放電シミュレーション技術の現状とモデル間の相互比較調査専門委員会委員
- 2006 - 2008 社団法人電気学会 2号代議員
- 2008 - 社団法人電気学会 平成21年電気学会全国大会実行委員会幹事
- 2005 - 2007 社団法人電気学会 放電技術委員会荷電粒子、励起種、解離種ならびに光子と原子分子ダイナミックス調査専門委員会委員
- 2003 - 2005 社団法人電気学会 放電技術委員会・窒素中における放電とそのプラズマプロセスへの応用技術調査専門委員会委員
- 2002 - 2004 社団法人電気学会 放電技術委員会・窒素中における放電とそのプラズマプロセスへの応用技術調査専門委員会委員
- 2001 - 2003 社団法人電気学会 北海道支部会計幹事
- 1999 - 2000 社団法人電気学会 平成12年電気学会基礎・材料・共通部門大会実行委員会幹事
- 1997 - 社団法人電気学会 論文委員会委員
- 1994 - 社団法人電気学会 平成7年電気学会全国大会実行委員会事務局
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受賞 (6件):
所属学会 (4件):
応用物理学会
, 日本工学教育協会
, 社団法人電気学会
, The Institute of Electrical Engineers of Japan
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