研究者

J-GLOBAL ID：200901046181872444 更新日: 2022年09月13日

山口十六夫

ヤマグチトムオ | Yamaguchi Tomuo

所属機関・部署：
職名：教授

研究分野 (1件)：光工学、光量子科学

研究キーワード (2件)：分光エリプソメトリ光学的性質薄膜 , Spectroscopic ellipsometry Optical properties Thin film

競争的資金等の研究課題 (6件)：

光学系の設計
表面・薄膜の光学的評価
高速・高精度分光エリプソメトリの開発と応用
Design of optical systems
Optical characterization of surfaces and thin films

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MISC (452件)：

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特許 (4件)：

非晶質材料の分光計測法
不完全位相補償子を用いた4ゾーン消光型分光エリプソメトリ
Spectroscopic method of amorphous materials
Four zone null spectroscopic ellipsometry using inperfect phase compensator

Works (8件)：

分光エリプソメトリを用いた基板温度計測についての研究
2005 - 2006
Substrate temperature measurement using spectroscopic ellipsometry
2005 - 2006
分光エリプソメトリ法による薄膜の光学物性の研究
2001 - 2004
Spectro ellipsometric study of thin films
2001 - 2004
多層薄膜の分光計測法に関する研究
1997 - 2004

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学歴 (2件)：

- 1965 東京理科大学理学部物理学科
- 1965 東京理科大学

学位 (1件)：

工学博士 (東京大学)

経歴 (4件)：

1965 - 1974 東京大学工学部助手
1965 - 1974 Research Associate, Faculty of engineering, The University of Tokyo
1974 - - 静岡大学電子工学研究所
1974 - - Research Institute of Electronics, Shizuoka University

受賞 (1件)：

1976 - 光学論文賞

所属学会 (3件)：

日本光学会 , 表面科学会 , 応用物理学会

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