研究者
J-GLOBAL ID:200901046462290037   更新日: 2020年05月16日

金 勲

キム フン | Kim Hoon
所属機関・部署:
職名: Ph.D candidate
研究キーワード (4件): CVD ,  Ru ,  信頼性 ,  銅配線
競争的資金等の研究課題 (1件):
  • Process development of highly reliable Cu interconnect by material design and oxidation / reduction chemistry of Cu-CVD
MISC (3件):
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