小林光

コバヤシヒカル | Kobayashi Hikaru

所属機関・部署：
職名：教授

研究分野 (3件)：エネルギー化学 , 電気電子材料工学 , 半導体、光物性、原子物理

研究キーワード (6件)：太陽電池 , 電子材料物性 , 半導体・誘電体物性 , solar cell , Electronic Materials Science , semiconductor and dielectrics physics

競争的資金等の研究課題 (6件)：

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MISC (340件)：

特許 (49件)：

Semiconductor and a Method for Manufacturing on Oxide Film on the Surface of a Semiconductor Substrate
Semiconductor and a Method for Manufacturing on Oxide Film on the Surface of a Semiconductor Substrate
Semiconductor and a Method for Manufacturing on Oxide Film on the Surface of a Semiconductor Substrate
Method of Apparatus for Manufacturing Semiconductor Devices
Method of Apparatus for Manufacturing Semiconductor Devices

書籍 (3件)：

Determination of the Energy Distribution of Interface States in the Si forbidden gap by XPS measurements under bias
Precision Science and Technology for Perfects Surfacrs 1999
Ultrathin MOS gate insulators : surface preparation, growth, and Interface control
Silicon Nitride and Silicon Dioxide Thin Insulating Films 1997
Interface states for MOS devices with an ultrathin oxide layers
The phsics and chemistry of SiO<sub>2</sub> and the SiO<sub>2</sub> interface -3 1996

Works (3件)：

学歴 (4件)：

学位 (1件)：

所属学会 (7件)：

The Electrochemical Society , 日本物理学会 , American Physical society , 日本表面科学会 , American Association for the Advancement of Science , 応用物理学会 , 日本化学会

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小林 光