浜口智志

ハマグチサトシ | Hamaguchi Satoshi

所属機関・部署：
職名：教授
ホームページURL (1件)： http://www.camt.eng.osaka-u.ac.jp/hamaguchi/

研究分野 (3件)：核融合学 , プラズマ応用科学 , プラズマ科学

研究キーワード (3件)：数値シミュレーション , プラズマ化学 , プラズマ物理学

競争的資金等の研究課題 (30件)：

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論文 (504件)：

Fatima Jenina Arellano, Márton Gyulai, Zoltán Donkó, Peter Hartmann, Tsanko V Tsankov, Uwe Czarnetzki, Satoshi Hamaguchi. First-principles simulation of optical emission spectra for low-pressure argon plasmas and its experimental validation. Plasma Sources Science and Technology. 2023
Anjar Anggraini Harumningtyas, Tomoko Ito, Michiro Isobe, Lenka Zajíčková, Satoshi Hamaguchi. Molecular dynamics simulation of amine formation in plasma-enhanced chemical vapor deposition with hydrocarbon and amino radicals. Journal of Vacuum Science & Technology A. 2023
N Saura, D Garrido, S Benkadda, K Ibano, Y Ueda, S Hamaguchi. Spectroscopic analysis improvement using convolutional neural networks. Journal of Physics D: Applied Physics. 2023. 56. 35
Enggar Alfianto, Kazumasa Ikuse, Satoshi Hamaguchi. Global numerical simulation of chemical reactions in phosphate-buffered saline (PBS) exposed to atmospheric-pressure plasmas. Plasma Sources Science and Technology. 2023
Satoshi Hamaguchi. High-throughput SiN ALE: surface reaction and ion-induced damage generation mechanisms. Japanese Journal of Applied Physics. 2023

MISC (217件)：

浜口智志. Why are physical sputtering yields similar for incident ions with different masses??physical sputtering yields of the Lennard-Jones system. Journal of Physics D: Applied Physics. 2022. 55. 225209-225209
唐橋一浩, 伊藤智子, 浜口智志. エッチング表面反応の実験的理論的アプローチ. 応用物理. 2022. 91. 3. 164-168
Abdulrahman H. Basher, Marjan Krstic, Karin Fink, Tomoko Ito, Kazuhiro Karahashi, Wolfgang Wenzel, Satoshi Hamaguchi. Formation and desorption of nickel hexafluoroacetylacetonate Ni(hfac)(2) on a nickel oxide surface in atomic layer etching processes (vol 38, 052602, 2020). JOURNAL OF VACUUM SCIENCE & TECHNOLOGY A. 2021. 39. 5
Kang Hojun, 伊藤智子, Um Junghwan, Kokura Hikaru, Kang Taekyun, Cho Sung-Il, Park Hyunjung, 唐橋一浩, 浜口智志. H⁺、O⁺イオン照射によるフッ化Y₂O₃表面反応. 応用物理学会学術講演会講演予稿集. 2021. 2021.1. 1465-1465
伊藤智子, 唐橋一浩, 浜口智志. βジケトンを用いた遷移金属原子層エッチング(ALE) の脱離生成物計測と反応機構解明. 応用物理学会学術講演会講演予稿集. 2021. 2021.1. 1463-1463

特許 (40件)：

書籍 (12件)：

学歴 (3件)：

学位 (2件)：

委員歴 (17件)：

2020/01 - 現在 25th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC25) Co-Chair, Program Committee
2020/01 - 現在 25th International Symposium on Plasma Chemistry (ISPC25) Co-Chair, Local Organizing Committee
2019/12 - 現在 Plasma Medicine (Begell House Publishing) Editor-in-Chief
2019/01 - 現在 12th EU-Japan Joint Symposium on Plasma Processing (JSPP-11) Co-Chair, Organizing Committee,
2019/01 - 現在 3nd International Conference on Data-Driven Plasma Science (ICDDPS) Co-Chair, Executive Scientific Committee,

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受賞 (9件)：

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浜口 智志