研究者
J-GLOBAL ID:200901063620583243
更新日: 2011年02月23日
加沢 エリト
カザワ エリト | Kazawa Elito
所属機関・部署:
地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター 事業化支援部 城南支所 技術支援係
地方独立行政法人東京都立産業技術研究センター 事業化支援部 城南支所 技術支援係 について
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職名:
主任研究員
研究分野 (2件):
ナノマイクロシステム
, ナノ材料科学
研究キーワード (2件):
MEMS リソグラフィ HARMS UV-LIGA SPR LSPR シリコン異方性エッチング
, MEMS Lithograph HARMS SPR LSPR
競争的資金等の研究課題 (2件):
2006 - 2011 VOC計測技術
2006 - 2011 VOC mesurement techniques
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