篠原正典

シノハラマサノリ | Shinohara Masanori

所属機関・部署：
職名：教授

研究分野 (3件)：薄膜、表面界面物性 , プラズマ科学 , プラズマ応用科学

研究キーワード (2件)：プラズマ-表面相互作用 , Interaction of plasma with surface

競争的資金等の研究課題 (21件)：

2009 - 2011 大気圧プラズマが誘起する反応の解明
2009 - 2011 プラズマが誘起するシリコン中の欠陥生成メカニズムの解明
2009 - 2011 Analysis of reactinos induced by air-pressure plasma
2009 - 2011 Analysis of defect-generation in Si induced by plasma
2008 - 液中プラズマを用いた膜堆積・エッチング

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MISC (158件)：

M. Shinohara, K. Hara, Y. Takami, Y. Takaki, Y. Matsuda, H. Fujiyama. Investigation on Reactions of Hydrogen Plasma with Si surface, using infrared absorption spectroscopy in multiple internal reflection geometry (MIR-IRAS). Proceedings of IC-PLANTS2012. 2012. P-57
Y. Takami, K. Hara, Y. Takaki, M. Shinohara, Y. Matsuda, H. Fujiyama. Bias Dependent Reactions of a Si(110) Substrate on Irradiation of Hydrogen Plasma. Proceedings of Plasma Conference 2011. 2011. 22P020-O
Kojiro Hara, Yoshiki Takami, Yuya Takaki, Masanori Shinohara, Yoshinobu Matsuda, Hiroshi Fujiyama. Substrate Temperature Effect in the Interaction of Hydrogen Plasma with a Silicon Surface. Proceedings of Plasma Conference 2011. 2011. 22P021-O
Kojiro Hara, Yoshiki Takami, Yuya Takaki, Masanori Shinohara, Yoshinobu Matsuda, Hiroshi Fujiyama. Substrate Temperature Effect in the Interaction of Hydrogen Plasma with a Silicon Surface. Proceedings of Plasma Conference 2011. 2011. 22P021-O
Y. Kobayashi, N. Matsuo, K Miyazaki, S. Nishiyama, M. Shinohara, H. Fujiyama. Development of Multi Wire Stripper with Line-shaped Magnetron Plasmas. Proceedings of Plasma Conference 2011. 2011. 23P001-O

特許 (1件)：

親水性炭素質膜の製造方法及び製造装置

講演・口頭発表等 (392件)：

水素プラズマ-シリコン結晶の相互作用の基板バイアス効果
(プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第15回支部大会 2011)
水素プラズマによるシリコン結晶のアモルファス化の基板温度依存性
(プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第15回支部大会 2011)
大気圧プラズマでの生成物の解析
(プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第15回支部大会 2011)
エッチングプロセスにおけるスパッタ粒子のスペクトル解析
(プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第15回支部大会 2011)
容量結合RFプラズマ重畳DCマグネトロン放電の放電特性
(プラズマ・核融合学会九州・沖縄・山口支部第15回支部大会 2011)

Works (25件)：

プラズマ-シリコン表面相互作用で誘起される欠陥生成メカニズムの解明
2010 - 2012
「プラズマプロセスの制御によるアモルファス炭素膜の揺らぎのない成膜プロセスの創成
2008 - 2012
生体親和性DLC形成メカニズムの解明
2008 - 2009
液中プラズマを用いた医療用チューブ内面へのDLCコーティング技術の創成
2008 - 2009
ダイヤモンド・ライクカーボン薄膜成長メカニズムの解明
2008 - 2009

学位 (1件)：

博士(工学) (東北大学)

経歴 (14件)：

2009 - 2011 長崎大学大学院生産科学研究科システム科学専攻環境システム科学助教
2009 - 2011 Assistant Professor,Environmental Systems Science,Environmental Systems Science,System Science,Graduate School of Science and Technology,Nagasaki University
2011 - 長崎大学大学院工学研究科電気・情報科学部門助教
2011 - Assistant Professor,Division of Electrical Engineering and Computer Science,Graduate school of Engineering,Nagasaki University
2010 - バーリ大学化学科客員研究員

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委員歴 (8件)：

2009 - 2011 表面科学会表面科学編集委員
2009 - 2010 応用物理学会学術講演会現地実行委員
2009 - 表面科学会編集委員会
2009 - Society of Japan Surface Science
2004 - 2006 プラズマ・核融合学会「プラズマ-物質相互作用の科学」専門委員会プラズマ・核融合学会「プラズマ-物質相互作用の科学」専門委員会委員(2004-2006)

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受賞 (1件)：

2007 - 日本MRS学会奨励賞

所属学会 (13件)：

日本MRS , 表面技術協会 , 電子情報通信学会 , アメリカ真空学会 , 表面科学会 , 応用物理学会プラズマエレクトロニクス分科会 , 応用物理学会 , Information and Communication Engineering , Society of Electronica , American Vacuum Society , Society of Japan Surface Science , Plasama electronics Branch of Society of Applied Phyics , Society of Applied Phyics

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