研究者
J-GLOBAL ID:200901074234127570   更新日: 2024年08月28日

井上 尚三

イノウエ シヨウゾウ | Inoue Shozo
所属機関・部署:
職名: 教授
研究分野 (1件): 材料加工、組織制御
研究キーワード (2件): スパッタリング ,  薄膜
競争的資金等の研究課題 (15件):
  • 2019 - 2023 相変態を利用した2次元応力分布記録メディアとしてのステンレス薄膜
  • 2015 - 2017 発熱特性を制御できる金属-酸化物多層自己伝播発熱材料の開発
  • 2011 - 2013 MEMS構造材料への展開を目指したバルク金属ガラス薄膜の材料探索
  • 2008 - 2010 高速応答形状記憶合金マイクロアクチュエータ材料の開発とそのマイクロ加工技術の確立
  • 2002 - 2004 強磁性形状記憶合金薄膜による磁場動作型マイクロアクチュエーターの開発
全件表示
論文 (194件):
  • Shozo Inoue, Naoto Morikawa, Akira Heya, Takahiro Namazu. Deposition of W-C films by dual source dc magnetron sputtering. Proceedings of 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE2022, Nara). 2022. C132
  • 森川直人, 分銅亮介, 部家彰, 生津資大, 井上尚三. 二源スパッタリング法によるW-C薄膜の作製. 2022年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 2022. 221-222
  • 朝田昂大, 大路利菜, 井上尚三. SUS304ステンレス鋼スパッタ薄膜のCu薄膜上での成長相と成長形態. 2022年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 2022. 219-220
  • S. Kammachi, Y. Goshima, N. Goami, N. Yamashita, S. Kakinuma, K. Nishikata, N. Naka, S. Inoue, T. Namazu. Cathodoluminescence Spectroscopic Stress Analysis for Silicon Oxide Film and Its Damage Evaluation. Materials. 2020. 13. 4490-8 pages
  • Shozo Inoue, Yu Fujiwara, Najami Zahira, Naoki Umada. Effect of deposition condition on the crystal phase of 18-8 stainless steel films prepared by dc magnetron sputtering. Proceedings of the 15th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2019). 2019. 188-190
もっと見る
MISC (76件):
  • 永井晋平, 村上大志, 多田あずみ, 井上尚三. スパッタTi薄膜の成長形態におよぼす成膜条件の影響. 2024年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 2024. 672-673
  • 岡田響, 森川直人, 部家彰, 井上尚三. 二源スパッタリング法によるTi-C薄膜の作製. 2023年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 2023. 668-669
  • 井上達裕, 朝田昂大, 井上尚三. Cuバッファ層上でのγ相SUS304ステンレス鋼スパッタ薄膜の成長形態. 2023年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 2023. 664-665
  • 藤井 達也, 伊奈 銀之介, 井上 尚三, 生津 資大. OS1420-430 静電駆動型MEMSデバイスによる犠牲酸化SiナノワイヤのSEM内引張試験. M&M材料力学カンファレンス. 2015. 2015. "OS1420-430-1"-"OS1420-430-2"
  • 小関 貴裕, 藤井 達也, 井上 尚三, 生津 資大. OS1419-420 HBマスキング効果を用いたSiナノワイヤの作製と機械物性評価. M&M材料力学カンファレンス. 2015. 2015. "OS1419-420-1"-"OS1419-420-2"
もっと見る
学歴 (3件):
  • 1984 - 1987 大阪大学 工学研究科 精密工学専攻 博士後期課程
  • 1982 - 1984 大阪大学 工学研究科 精密工学専攻 博士前期課程
  • 1978 - 1982 大阪大学 工学部 精密工学科
学位 (1件):
  • 工学博士 (大阪大学)
経歴 (6件):
  • 2004/04 - 現在 兵庫県立大学 工学研究科 教授
  • 2003/10 - 2004/03 姫路工業大学 工学部 教授
  • 1998/04 - 2003/09 姫路工業大学 工学部 助教授
  • 1996/10 - 1998/03 姫路工業大学 工学部 講師
  • 1987/04 - 1996/09 姫路工業大学 工学部 助手
全件表示
委員歴 (3件):
  • 2020 - 現在 精密工学会関西支部 商議員
  • 2012 - 現在 精密工学会 超精密加工専門委員会幹事
  • 2009 - 現在 精密工学会 校閲協力委員
所属学会 (4件):
精密工学会 ,  American Vacuum Society ,  応用物理学会 ,  日本金属学会
※ J-GLOBALの研究者情報は、researchmapの登録情報に基づき表示しています。 登録・更新については、こちらをご覧ください。

前のページに戻る