井上尚三

イノウエシヨウゾウ | Inoue Shozo

所属機関・部署：
職名：教授

研究分野 (1件)：材料加工、組織制御

研究キーワード (2件)：スパッタリング , 薄膜

競争的資金等の研究課題 (15件)：

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論文 (194件)：

Shozo Inoue, Naoto Morikawa, Akira Heya, Takahiro Namazu. Deposition of W-C films by dual source dc magnetron sputtering. Proceedings of 19th International Conference on Precision Engineering (ICPE2022, Nara). 2022. C132
森川直人, 分銅亮介, 部家彰, 生津資大, 井上尚三. 二源スパッタリング法によるW-C薄膜の作製. 2022年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 2022. 221-222
朝田昂大, 大路利菜, 井上尚三. SUS304ステンレス鋼スパッタ薄膜のCu薄膜上での成長相と成長形態. 2022年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 2022. 219-220
S. Kammachi, Y. Goshima, N. Goami, N. Yamashita, S. Kakinuma, K. Nishikata, N. Naka, S. Inoue, T. Namazu. Cathodoluminescence Spectroscopic Stress Analysis for Silicon Oxide Film and Its Damage Evaluation. Materials. 2020. 13. 4490-8 pages
Shozo Inoue, Yu Fujiwara, Najami Zahira, Naoki Umada. Effect of deposition condition on the crystal phase of 18-8 stainless steel films prepared by dc magnetron sputtering. Proceedings of the 15th International Symposium on Sputtering and Plasma Processes (ISSP2019). 2019. 188-190

MISC (76件)：

永井晋平, 村上大志, 多田あずみ, 井上尚三. スパッタTi薄膜の成長形態におよぼす成膜条件の影響. 2024年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 2024. 672-673
岡田響, 森川直人, 部家彰, 井上尚三. 二源スパッタリング法によるTi-C薄膜の作製. 2023年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 2023. 668-669
井上達裕, 朝田昂大, 井上尚三. Cuバッファ層上でのγ相SUS304ステンレス鋼スパッタ薄膜の成長形態. 2023年度精密工学会秋季大会学術講演会講演論文集. 2023. 664-665
藤井達也, 伊奈銀之介, 井上尚三, 生津資大. OS1420-430 静電駆動型MEMSデバイスによる犠牲酸化SiナノワイヤのSEM内引張試験. M&M材料力学カンファレンス. 2015. 2015. "OS1420-430-1"-"OS1420-430-2"
小関貴裕, 藤井達也, 井上尚三, 生津資大. OS1419-420 HBマスキング効果を用いたSiナノワイヤの作製と機械物性評価. M&M材料力学カンファレンス. 2015. 2015. "OS1419-420-1"-"OS1419-420-2"

学歴 (3件)：

学位 (1件)：

経歴 (6件)：

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委員歴 (3件)：

所属学会 (4件)：

精密工学会 , American Vacuum Society , 応用物理学会 , 日本金属学会

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井上 尚三