研究者
J-GLOBAL ID:200901077232960281   更新日: 2024年04月20日

中村 典雄

ナカムラ ノリオ | Nakamura Norio
所属機関・部署:
職名: 研究員
研究分野 (2件): 量子ビーム科学 ,  素粒子、原子核、宇宙線、宇宙物理にする理論
研究キーワード (9件): 先端的放射光源加速器 ,  次世代リソグラフィー用EUV-FEL光源 ,  加速器産業応用 ,  次世代放射光源 ,  エネルギー回収リニアック ,  自由電子レーザー ,  加速器 ,  放射光 ,  ビーム物理
競争的資金等の研究課題 (21件):
  • 2015 - 2019 エネルギー回収型リニアック(ERL)におけるビームロスの研究
  • 2012 - 2014 エネルギー回収型リニアック放射光源用電子銃励起レーザーシステムの研究
  • 2008 - 2013 超伝導加速による次世代小型高輝度光子ビーム源の開発
  • 2009 - 2011 次世代放射光源のための要素技術開発と人材育成
  • 2007 - 2009 最先端放射光加速器の開発研究と大学院教育
全件表示
論文 (294件):
  • H. Sakai, K. Harada, N. Higashi, Y. Honda, Y. Kamiya, Y. Morikawa, N. Nakamura, H. Shimizu, O. Tanaka, K. Umemori, et al. Conceptual design of the high-power electron beam irradiator using niobium-tin superconducting cavity. Journal of Physics: Conference Series. 2024. 2687. 092013
  • N. Higashi, C. Mitsuda, S. Nagahashi, K. Harada, T. Nogami, T. Uchiyama, N. Nakamura, T. Honda, M. Satoh, Y. Okayasu, et al. Modification of beam transport line design for simultaneous top-up injection to PF and PF-AR. Journal of Physics: Conference Series. 2024. 2687. 032006
  • Norio Nakamura, Ryukou Kato, Hiroshi Sakai, Kimichika Tsuchiya, Yasunori Tanimoto, Yosuke Honda, Tsukasa Miyajima, Miho Shimada, Takanori Tanikawa, Olga A. Tanaka, et al. High-power EUV free-electron laser for future lithography. Japanese Journal of Applied Physics. 2023. 62. SG0809
  • N. Nakamura, H. Kawata, H. Sakai, K. Tsuchiya, M. Shimada, O. Tanaka, R. Kato, T. Tanikawa, T. Obina, T. Miyajima, et al. EUV-FEL light source for future lithography. Proceedings of IPAC23. 2023. 5149-5153
  • C. Mitsuda, T. Honda, S. Nagahashi, D. Naito, T. Nogami, N. Nakamura, H. Sasaki, S. Sakanaka, H. Takaki, T. Uchiyama, et al. Construction and beam commissioning of the GeV-range test beamline at KEK PF-AR. Proceedings of IPAC23. 2023. 471-474
もっと見る
MISC (37件):
  • 曲 慧, 石松 完爾, 平戸 利明, 東 直, 高木 秀彰, 中村 典雄. 電子線照射したアスファルトのX線小角散乱法による評価結果. 土木学会全国大会第78回年次学術講演会(web). 2023
  • 石松莞爾, 中村典雄. アスファルトへの電子線照射利用. 改質アスファルト. 2023. 61. 4-11
  • 阪井寛志, 加藤龍好, 土屋公央, 谷本育律, 本田洋介, 宮島司, 島田美帆, 帯名崇, 高井良太, 中村典雄, et al. Compact ERLを用いた中赤外FELの開発とFEL発振. 日本加速器学会年会(Web). 2021. 18th
  • 河田 洋, 阪井 寛志, 加藤 龍好, 中村 典雄. 将来の EUV リソグラフィに向けた大強度 EUV-FEL の開発. X線結像光学ニューズレター. 2020. 51. 1-7
  • 松村 宏, 萩原 雅之, 三浦 太一, 濁川 和幸, 芳賀 開一, 長橋 進也, 帯名 崇, 中村 典雄, 加藤 龍好. ERL開発棟のコンパクトERL加速器室における照射ビームラインの新設に係わる放射線安全対策. KEK Internal Report 2019-1. 2019
もっと見る
書籍 (10件):
  • 先端半導体製造プロセスの最新動向と微細化技術
    技術情報協会 2023 ISBN:9784861049828
  • Photon Sources for Lithography and Metrology
    SPIE PRESS 2023 ISBN:9781510653719
  • 加速器ハンドブック
    丸善出版 2018
  • OHO'15 高エネルギー加速器セミナー「エネルギー回収型リニアックの加速器基盤技術と応用」
    2015
  • 講習会「シンクロトロン放射光源の基礎と応用 --- 21世紀を照らす光 --- 」テキスト
    1999
もっと見る
講演・口頭発表等 (22件):
  • 将来リソグラフィー用EUV-FEL光源
    (第20回日本加速器学会年会 2023)
  • 将来リソグラフィーのためのEUV-FEL光源
    (第29回FELとHigh-Power Radiation研究会 2023)
  • Present state of the EUV-FEL light source for future lithography
    (7th EUV-FEL Workshop 2023)
  • High-power EUV free electron laser for future lithography
    (MNC2022 (35th International Microprocesses and Nanotechnology Conference) 2022)
  • Recent Progress on EUV-FEL and its PoC using cERL
    (2022 Source Workshop 2022)
もっと見る
経歴 (7件):
  • 2023/04 - 現在 高エネルギー加速器研究機構 加速器研究施設 研究員
  • 2021/04 - 2023/03 高エネルギー加速器研究機構 加速器研究施設 特別教授
  • 2011 - 2021/03 総合研究大学院大学 高エネルギー加速器科学研究科 教授
  • 2011 - 2021/03 高エネルギー加速器研究機構 加速器研究施設 教授
  • 2007 - 2011 東京大学 物性研究所 准教授
全件表示
受賞 (1件):
  • 2015/02 - 高エネルギ-加速器科学研究奨励会 諏訪賞
所属学会 (2件):
日本加速器学会 ,  日本放射光学会
※ J-GLOBALの研究者情報は、researchmapの登録情報に基づき表示しています。 登録・更新については、こちらをご覧ください。

前のページに戻る